نمای کلی محصول
این سیستم کندوپاش مگنترون دو محفظه-به طور خاص برای ساخت دستگاه صفحه کانونی مادون قرمز ساخته شده است. عملکرد اصلی آن، رسوب فیلمهای غیرفعال کامپوزیت ZnS/CdTe بر روی لایههای همپایه HgCdTe است، که یک مرحله مهم در ساخت آشکارسازهای مادون قرمز با کارایی بالا-است.
با ترکیب کندوپاش مگنترون بالغ با ساختار محفظه دوگانه-، این سیستم به کاربران اجازه میدهد تا پارامترهای رشد فیلم را دقیقاً کنترل کنند. این لایههای غیرفعال یکنواخت و متراکم را با اطمینان تولید میکند و به بهبود عملکرد و پایداری آرایههای صفحه کانونی مادون قرمز در تولید واقعی کمک میکند.
مزایا
معماری خوشهای آلودگی متقابل-را کاهش میدهد
طراحی خوشهای و چیدمان چند{0}}فرایندی به جدا نگه داشتن فرآیندهای غیرفعالسازی و اکسیداسیون کمک میکند، که آلودگی متقابل- را کاهش میدهد و کیفیت فیلم را ثابت نگه میدارد.
زیرلایه با دمای پایین-از مواد HgCdTe محافظت میکند
کار در دمای پایینتر بستر به جلوگیری از فرار اتمهای جیوه در طول رسوب کمک میکند. این ویژگی های مواد اولیه لایه های همپای HgCdTe را حفظ می کند که برای عملکرد نهایی دستگاه مهم است.
کندوپاش کردن از پایین{0}}عیب ذرات را کاهش میدهد
استفاده از روش کندوپاش از پایین{0}}به بالا، گرد و غبار و تجمع ذرات را روی سطح ویفر کاهش میدهد. این منجر به لایههای تمیزتر و نقصهای کمتر میشود که به نوبه خود عملکرد کلی را بهبود میبخشد.
کنترل دما دقیق از پردازش پایدار پشتیبانی می کند
دما در محدوده 0.5± درجه در محدوده 0 درجه تا 140 درجه کنترل می شود و سیستم با ویفرهای 4 تا 8 اینچی کار می کند. این سطح از کنترل به اطمینان از رشد یکنواخت فیلم در سراسر ویفر و نتایج قابل تکرار از دستهای به دسته دیگر کمک میکند.
برنامه های کاربردی
این سیستم عمدتاً در تحقیق و توسعه و تولید انبوه دستگاههای سطح کانونی مادون قرمز، با تمرکز اصلی بر روی رسوب فیلمهای غیرفعال کامپوزیتی ZnS/CdTe بر روی ویفرهای HgCdTe استفاده میشود.
این یک قطعه مهم از تجهیزات در زنجیره تامین آشکارساز مادون قرمز با حساسیت بالا-است که به طور گسترده در هوافضا، شناسایی نظامی، تصویربرداری حرارتی صنعتی و تحقیقات علمی برای ساخت دستگاه تصویربرداری مادون قرمز استفاده میشود.
سوالات متداول
سوالات متداول
س: 1. سیستم کندوپاش مگنترون دو محفظه- چیست؟
A: این یک ابزار رسوب گذاری تخصصی است که برای ساخت دستگاه صفحه کانونی مادون قرمز طراحی شده است و برای رسوب فیلم های غیرفعال کامپوزیت ZnS/CdTe بر روی لایه های همپای HgCdTe استفاده می شود.
س: 2. کاربردهای اصلی این سیستم چیست؟
پاسخ: عمدتاً در تحقیق و توسعه و تولید انبوه آشکارسازهای مادون قرمز{0} با حساسیت بالا، که به طور گسترده در هوافضا، شناسایی نظامی، تصویربرداری حرارتی صنعتی و تحقیقات علمی استفاده میشود، استفاده میشود.
س: 3. مزایای اصلی طراحی محفظه دوتایی- چیست؟
پاسخ: معماری خوشه ای از آلودگی متقابل-در فرآیندهای غیرفعال سازی و اکسیداسیون جلوگیری می کند. طراحی بستر با دمای پایین-فرار اتم جیوه را سرکوب میکند. کندوپاش پایین-به بالا نقص ذرات را کاهش می دهد. کنترل دمای با دقت بالا، یکنواختی فیلم را تضمین می کند.
س: 4. دقت و محدوده کنترل دما چیست؟
A: دقت کنترل دما کمتر یا مساوی ± 0.5 درجه، دمای بستر قابل تنظیم از 0 درجه تا 140 درجه، سازگار با ویفرهای 4-8 اینچی.
س: 5. چرا این سیستم را برای غیرفعال سازی HgCdTe انتخاب کنید؟
پاسخ: محیطی تمیز،{0}}دمای پایین،-یکنواختی بالا را فراهم میکند، از خواص مواد محافظت میکند و از فیلمهای ZnS/CdTe با کیفیت بالا- که برای عملکرد دستگاه مادون قرمز حیاتی هستند، اطمینان حاصل میکند.
س: 6. خریداران باید روی چه مشخصات کلیدی تمرکز کنند؟
A: سازگاری با اندازه ویفر، محدوده دما و دقت، ساختار محفظه، حالت کندوپاش و قابلیت کنترل آلودگی.
س: 7. آیا سفارشی سازی در دسترس است؟
پاسخ: بله، ما از سفارشی سازی اندازه محفظه، سیستم دما و پارامترهای فرآیند برای مطابقت با نیازهای تحقیق و توسعه و تولید انبوه پشتیبانی می کنیم.
تگ های محبوب: سیستم کندوپاش مگنترون دو محفظه-سیستم کندوپاش مگنترون محفظه دوگانه-سازندگان، تامین کنندگان سیستم های کندوپاش مگنترون دو محفظه چین
