سیستم کندوپاش مغناطیسی کربن

تجهیزات کندوپاش فیلم کربن ما یک سیستم اختصاصی است که برای قرار دادن لایه‌های محافظ فیلم کربن با دمای بالا-روی دستگاه‌های SiC ساخته شده است. از یک معماری خوشه ای استفاده می کند که می تواند با چندین محفظه فرآیند پیکربندی شود و با بارگیری و تخلیه ویفر خودکار ارائه می شود. با بکارگیری فناوری فیلم DLC ({3}}شبیه کربن) به طور موثری از گچ شدن سطح روی ویفرهای SiC در هنگام بازپخت{4}در دمای بالا جلوگیری می‌کند و حفاظت از سطح پایدار و قابل اعتماد را ارائه می‌دهد.

طراحی خوشه از محفظه‌های فرآیندی متعدد پشتیبانی می‌کند و به مقیاس انعطاف‌پذیر اجازه می‌دهد تا با اندازه‌های دسته‌های مختلف مطابقت داشته باشد و کارایی کلی تولید را افزایش دهد.

بارگیری و تخلیه خودکار مداخله دستی را کاهش می دهد، تکرارپذیری فرآیند را بهبود می بخشد و از پردازش دسته ای مداوم پشتیبانی می کند.

فرآیند فیلم DLC به طور موثر گچ سطح ویفر SiC را سرکوب می کند، کیفیت سطح را حفظ می کند و عملکرد و قابلیت اطمینان دستگاه را افزایش می دهد.

محفظه کندوپاش به خلاء نهایی کمتر یا مساوی 6E-5Pa می‌رسد، و یکنواختی ضخامت لایه در 5% ± کنترل می‌شود که از پوشش‌های ثابت و با کیفیت بالا اطمینان حاصل می‌شود.

سازگاری با ویفرهای 6 اینچی و 8 اینچی باعث می شود سیستم با خطوط مختلف تولید و نیازهای فرآیند سازگار باشد.

این تجهیزات عمدتاً در تهیه لایه‌های محافظ فیلم کربنی برای دستگاه‌های SiC، به‌ویژه در طی{0}فرایندهای بازپخت در دمای بالا استفاده می‌شود. این ویفرهای SiC 6{4}}و 8{5}}اینچی را پشتیبانی می‌کند و آن را برای تحقیق و توسعه و تولید انبوه دستگاه‌های نیمه‌رسانای نسل سوم مانند دستگاه‌های قدرت SiC، دستگاه‌های RF و سایر قطعات الکترونیکی مبتنی بر SiC مناسب می‌سازد.

تگ های محبوب: سیستم کندوپاش مگنترون کربن، تولید کنندگان سیستم کندوپاش مگنترون کربن چین، تامین کنندگان