اواپراتور پرتو الکترونی

تبخیر کننده پرتو الکترونی نایس{0}}تکنولوژی، مجموعه‌ای از تجهیزات PVD (رسوب بخار فیزیکی) با کارایی بالا هستند که برای تولیدات صنعتی متنوع و نیازهای تحقیقات علمی توسعه یافته‌اند. خط تولید ویفر-سطح تولید انبوه،-پوشش قطعه کار با اندازه بزرگ، تحقیق و توسعه دسته‌ای کوچک{{5} و سناریوهای فرآیند تخصصی را پوشش می‌دهد، خط تولید شامل مدل‌های متعددی مانند EBE 700، EBE 600 / EBE 600P، EBE 500، EBE 400 / EBE30، EBE20 /0EBE30 200P، EBE 100. هر سیستم فناوری پیشرفته پوشش خلاء و اجزای هسته ای کلاس جهانی (از مارک هایی مانند Edwards، Pfeiffer، و MKS) را با سیستم کنترل کاملاً خودکار VKOS ادغام می کند که از جابجایی فیلم پایدار، قابل اعتماد و کارآمد اطمینان حاصل می کند.

سری محصول دارای طرح‌های ساختاری انعطاف‌پذیر-شامل پیکربندی‌های یک-حفره‌ای، دو محفظه-و جمع‌وجور-برای انطباق با فضا و نیازهای فرآیندی مختلف است. شاخص‌های کلیدی عملکرد برجسته هستند: یکنواختی پوشش با دقت 2% (بیشتر مدل‌ها) و ±3% (مدل‌های جمع‌وجور)، خلاء نهایی به 1E-5Pa تا 2E-5Pa، و محدوده‌های کنترل دما از -50 درجه تا 500 درجه (یا RT تا 50 درجه) از مواد مختلف مورد نیاز است. سیستم‌های تبخیر پرتو الکترونی Vikaitech، چه تولید انبوه در سطح ویفر، آماده‌سازی فیلم چند لایه پیچیده، یا تأیید تحقیق و توسعه آزمایشگاهی باشد، راه‌حل‌های مناسب ارائه می‌دهند.

• کیفیت فیلم برتر و ثبات بالا
• مدل های متنوع برای نیازهای هدفمند
• اتوماسیون بالا و تعمیر و نگهداری آسان
• سازگاری و سفارشی سازی قوی
• تنظیمات هسته قابل اعتماد

• نیمه هادی و میکروالکترونیک
• اپتوالکترونیک و ارتباطات نوری
• تشخیص هوافضا و مادون قرمز
• زیست پزشکی و مواد جدید
• تولید انبوه صنعتی
• تحقیقات علمی و دانشگاه ها

تگ های محبوب: اواپراتور پرتو الکترونی، تولید کنندگان اواپراتور پرتو الکترونی، تامین کنندگان