تجهیزات کندوپاش مغناطیسی

سه تجهیزات کندوپاش مغناطیسی شرکت ما، بر اساس فناوری PVD، همه فیلم‌های فلزی، دی الکتریک و نیمه هادی با کیفیت بالا را- رسوب می‌دهند، اما در تمرکز کاربرد متفاوت هستند.

مدل صنعتی تک محفظه-را در نظر بگیرید: برای تولید-در مقیاس بزرگ، با استفاده از هدف برجسته که هزینه ها را کنترل می کند، مهندسی شده است. این ویفرهای 8 اینچی را به طور یکپارچه مدیریت می کند و نیازهای تولید صنعتی خروجی ثابت را ارائه می دهد.

سپس نسخه صنعتی چند محفظه- است که از محفظه های مدولار و مستقل (در نظر بگیرید گرمایش، کندوپاش و موارد دیگر) برای خودکارسازی کل فرآیند پوشش استفاده می کند.

این یک بازی-تغییر دهنده-تولید انبوه{1}}فیلم های چند لایه- پیچیده، کاهش مداخلات دستی است. از سوی دیگر،{4}}ماشین درجه تحقیقاتی به طور خاص برای دانشگاه ها و مؤسسات تحقیقاتی طراحی شده است. تنظیمات انعطاف‌پذیری-مانند کندوپاش چند هدف-برای انجام کارهای تحقیق و توسعه کوچک-چه برای مواد کاربید سیلیکون یا نمونه‌های اولیه تراشه‌های کوانتومی ارائه می‌کند. در هر سه، ما به تعهد "کیفیت کاردستی" خود پایبند هستیم و مطمئن می شویم که آنها نیازهای متنوع صنعت نیمه هادی را برآورده می کنند.

برای دریافت بهترین راه حل برای شما، لطفا با ما تماس بگیرید.

سه تجهیزات کندوپاش مگنترون شرکت ما، هر کدام جایگاه خاص خود را دارند-که هر نیازی را در صنعت نیمه هادی پوشش می دهند.

مدل صنعتی تک محفظه-را در نظر بگیرید: همه چیز مربوط به تولید-در مقیاس بزرگ، مانند مدارهای مجتمع است. برای تهیه لایه نازک ویفر 8{4}}اینچی، سریع و ثابت است، مستقیماً در خطوط تولید CMOS/IGBT جای می‌گیرد و بدون هیچ مشکلی به اهداف ظرفیت و بازده می‌رسد.

چند محفظه صنعتی با اتوماسیون کامل و یکپارچگی محکم متمایز است. آن فیلم‌های چندلایه پیچیده برای 5G و دستگاه‌های الکترونیک نوری؟ آنها را به راحتی کنترل می کند و نیازهای دقیق تولید انبوه را برآورده می کند.

سپس{0}}مدل نمره پژوهش-این مدل برای تحقیق و توسعه دانشگاه طراحی شده است. از آزمایش‌های دسته‌ای کوچک- بر روی مواد جدید مانند کاربید سیلیکون پشتیبانی می‌کند و به عنوان یک پلت‌فرم تأیید فوق‌العاده انعطاف‌پذیر عمل می‌کند.

سه تجهیزات کندوپاش مغناطیسی ما هر کدام نقاط قوت هدفمند را به جدول می‌آورند که برای سناریوهای کاربردی متمایز طراحی شده‌اند:

تگ های محبوب: تجهیزات کندوپاش مگنترون، تولید کنندگان تجهیزات کندوپاش مگنترون چین، تامین کنندگان