چگونه سیستم کندوپاش مغناطیسی مناسب را برای کار خود انتخاب کنید

انتخاب یک دستگاه پوشش کندوپاش مگنترون به معنای انتخاب "بهترین" نیست-به این است که دستگاهی را پیدا کنید که مانند یک دستکش متناسب با جریان کاری شما باشد. فرقی نمی‌کند اجزای نیمه‌رسانا را به‌صورت دسته‌ای تولید کنید، فرمول‌های{2}}فیلم نازک را در آزمایشگاه تغییر دهید، یا تطبیق‌پذیری را با نیازهای تولید متعادل کنید، سیستم سه‌گانه کندوپاش مگنترون شرکت ما هر کدام نقطه‌ای شیرین برای نیازهای مختلف ایجاد می‌کند. بیایید مشخصات را کوتاه کنیم و کاری را که انجام می دهید با آنچه نیاز دارید مطابقت دهیم.

اول: این 3 سوال را بپرسید تا آن را محدود کنید

نیازی نیست فوراً وارد تمام جزئیات فنی شوید. با اصولی شروع کنید که-به کار روزانه شما تبدیل می‌شوند:

1. آیا در حال افزایش برای تولید انبوه هستید یا در حال تکرار-تحقیق و توسعه دسته ای کوچک هستید؟

2. با چه بسترها و موادی کار می کنید؟ (اندازه های ویفر، فلزات در مقابل دی الکتریک ها را در نظر بگیرید.)

3. آیا به اتوماسیون-برای حفظ سرعت یا انعطاف پذیری برای بهینه سازی فرآیندها نیاز دارید؟

پاسخ دادن به این موارد بلافاصله شما را به سمت سیستم مناسب راهنمایی می کند. بیایید نحوه انطباق هرکدام از سناریوهای{1}}جهان واقعی را بررسی کنیم.

برای-تولید صنعتی با حجم بالا:مدل صنعتی چند محفظه-سیستم کندوپاش مگنترونی

اگر هدف شما این است که خطوط تولید را بدون به خطر انداختن کیفیت فیلم در حرکت نگه دارید-مثلاً، در حال تولید نیمه هادی ها یا-لوازم الکترونیکی با دقت بالا- هستید، این سیستم برای مدیریت سنگ زنی ساخته شده است. این فقط یک ماشین نیست. این یک گردش کار ساده در یک جعبه است.

چه چیزی آن را برجسته می کند؟ از حداکثر 5 محفظه فرآیند مستقل و مدولار استفاده می کند، بنابراین می توانید چرخه پوشش کامل-گرم کردن، گاززدایی، کندوپاش کردن، حتی تمیز کردن- را بدون مداخله دستی اجرا کنید. این به معنای زمان خرابی کمتر بین دسته‌ها و نتایج ثابت در هر زمان است. ما شاهد بوده ایم که تولیدکنندگان نیمه هادی فقط با اجازه دادن به اتوماسیون مراحل تکراری، زمان فرآیند را تا 30 درصد کاهش داده اند.

این برای ویفرهای 6-اینچی و 8 اینچی ساخته شده است، فلزات و دی الکتریک ها را به راحتی کنترل می کند، و خلاء نهایی 2×10-5 Pa- بحرانی را برای خالص نگه داشتن لایه های نازک ایجاد می کند. و با یکنواختی پوشش در ± 3٪، شما مجبور نخواهید بود قطعات معیوب را در انتهای خط مرتب کنید.

به طور خلاصه: اگر «کارآمدی» و «ثبات» کلمات اصلی تیم شما هستند، این کار شماست.

برای نیازهای صنعتی انعطاف پذیر:واحد صنعتی-مدل اتاقکسیستم کندوپاش مگنترونی

هر طبقه تولیدی نیاز به راه اندازی کامل چند محفظه- ندارد. ممکن است یک هفته بین پوشش های فلزی و هفته بعد سرامیک جابجا شوید، یا می خواهید بین تولید و هزینه تعادل برقرار کنید. اینجاست که سیستم استاندارد صنعتی می درخشد-این "جک همه معاملات" است که همچنان عملکرد درجه صنعتی- دارد.

ما این یکی را با در نظر گرفتن عملی بودن طراحی کردیم. این انرژی{1}}بهینه است و از اهداف عاقلانه استفاده می کند، بنابراین مواد یا نیرو را هدر نمی دهید. مرحله زیرلایه یک بازی است-تغییرگر نیز-می‌توانید بسته به موادی که برای چسبیدن و سخت شدن مناسب نیاز دارد، آن را تا 650 درجه گرم کنید یا خنک کنید. دیگر نیازی به ساخت تجهیزات اضافی برای تنظیم دما نیست.

با ویفرهای 8{2}}اینچی و کوچک‌تر کار می‌کند، تا 4 تفنگ هدف را پشتیبانی می‌کند و امکانات اضافی اختیاری مانند محفظه LOADLOCK یا کاست چند{4}}ویفری، سازگاری آن را با افزایش نیازهای شما آسان می‌کند. یکی از کارخانه‌های الکترونیکی که ما با آن کار می‌کنیم از آن برای همه چیز استفاده می‌کند، از پوشش‌های حسگر گرفته تا اجزای برد مدار - آن‌ها دوست دارند که برای هر کار به ماشین جداگانه‌ای نیاز نداشته باشند.

برای آزمایشگاه ها و تحقیق و توسعه:تحقیق-مدل نمرهسیستم کندوپاش مگنترونی

اگر در آزمایشگاه دانشگاهی یا استارت‌آپی هستید که-فناوری‌های جدید فیلم نازک-تراشه‌های کوانتومی یا حسگرهای پیشرفته- را آزمایش می‌کند، به سیستمی نیاز دارید که به اندازه تیم شما کنجکاو باشد. نسخه پژوهشی، خودکارسازی با حجم بالا-را برای انعطاف‌پذیری برای آزمایش، تغییر دادن و تکرار بدون دردسر معامله می‌کند.

این سیستمی است که شرکای تحقیق و توسعه ما به آن علاقه دارند. تقریباً هر ماده ای را که می توانید به سمت آن پرتاب کنید کنترل می کند: Al، Au، Cu برای فلزات. SiO2، TaN برای دی الکتریک؛ حتی نیمه هادی ها می‌توانید با پیشرفت پروژه‌تان، ماژول‌هایی مانند-محفظه خلاء یا نمونه ابزارهای تمیز کردن را اضافه کنید-بدون نیاز به خرید یک دستگاه کاملاً جدید وقتی تحقیقات شما به نوبت می‌رسد.

برای فضاهای آزمایشگاهی به اندازه کافی جمع و جور است و-ظرفیت کوچک آن به این معنی است که مواد گرانبها را در آزمایش‌ها هدر نخواهید داد. مرحله زیرلایه به شما امکان می دهد دما (RT{7}}600 درجه) و سرعت چرخش (5-20 RPM) را تنظیم کنید، بنابراین می توانید پارامترهای فرآیند کامل را شماره گیری کنید. برای ویفرهای 8 اینچی، هنوز یکنواختی 3±% دارد - بنابراین نتایج آزمایشگاه شما زمانی ترجمه می شود که آماده مقیاس بندی هستید.

مرجع سریع: کدام سیستم با نقش شما مطابقت دارد؟

نکته پایانی: ما پشت شما هستیم

همه سیستم های کندوپاش مگنترون استانداردهای کیفی سختگیرانه ای دارند، اما چیزی که واقعا ما را متمایز می کند پشتیبانی است. تیم ما سرعت پاسخگویی محلی را با تخصص ستاد مرکزی ترکیب می‌کند-به‌علاوه قطعات یدکی در دسترس-تا در صورت نیاز به کمک، هرگز منتظر نمانید. و اگر پروژه شما به چیزی سفارشی نیاز دارد، مانند بسترهای بزرگتر یا تنظیمات فرآیند منحصر به فرد، ما سیستم را برای شما طراحی می کنیم.

بهترین قسمت؟ شما فقط یک ماشین نمی‌خرید-بلکه راه حلی را انتخاب می‌کنید که با شما رشد می‌کند. اگر هنوز در مورد اینکه کدام سیستم برای پروژه بعدی شما مناسب است فکر می کنید، تیم فنی ما را رها کنید. ما در جریان کار شما قدم می زنیم، به سؤالات شما پاسخ می دهیم و مطمئن می شویم که دقیقاً آنچه را که نیاز دارید دریافت می کنید.