چگونه کوره آنیلینگ مناسب را از میان ردیف ما انتخاب کنیم

بیایید واقعی باشیم-انتخاب یک کوره بازپخت فقط علامت زدن کادرها نیست. این در مورد یافتن چیزی است که متناسب با جریان کاری شما باشد، چه در حال سرهم بندی کردن در آزمایشگاه یا تولید ویفر 24/7 باشید. ما شش مدل RTP (پردازش حرارتی سریع) داریم که هر کدام برای کارهای خاصی ساخته شده‌اند، بنابراین بیایید نحوه صفر کردن مدلی را که واقعاً برای شما کار می‌کند-و نه برعکس، توضیح دهیم.

اول: اصولی را که بیشترین اهمیت را دارند کنار بگذارید

قبل از اینکه درگیر مشخصات شوید، با سه سوال ساده شروع کنید. اینها سر و صدا را سریعتر از هر چیز دیگری قطع می کنند.

1. چقدر درآورید و از چه اندازه ویفر استفاده می کنید؟

خروجی و اندازه ویفر شما قابل مذاکره نیست-آنها فوراً مدل هایی را که نمی توانند با قطعات شما مطابقت داشته باشند یا مطابقت ندارند کنار بگذارند.

به عنوان مثال:

اگر یک آزمایشگاه دانشگاهی هستید که مواد جدید را با ویفرهای 4-اینچی آزمایش می‌کنید (و فقط به تعداد انگشت شماری در هفته نیاز دارید)، تجهیزات RTP رومیزی ما عالی هستند. حداکثر اندازه آن 6 اینچ است و روی یک میز کار قرار می گیرد بدون نیاز به ردپای غول پیکر.

اگر از ویفرهای 8{4}}اینچی (مثلاً 500 تا 2000 در هفته) برای تولید با حجم متوسط- استفاده می‌کنید، تجهیزات نیمه خودکار RTP منطقی است. 8 تا 12 اینچ را مدیریت می کند و کار دستی را بدون هزینه اتوماسیون کامل کاهش می دهد.

برای فروشگاه‌های با حجم بالا (2،000+ ویفر در هفته، اندازه 12{4}}اینچ)، باید تجهیزات RTP خودکار یا تجهیزات RTP با اکسیداسیون با درجه حرارت بالا{8}} را بخواهید. خودکار 24/7 با روبات ها کار می کند - بدون خطای انسانی سرعت کار را کاهش می دهد.

ساده است: اگر فقط از ویفرهای 6 اینچی استفاده می کنید، کوره 12-اینچی نخرید. فضا و پول را هدر خواهید داد.

2. دقیقاً در حال انجام چه کاری هستید؟

کوره های ما یک-پونی های فریبنده- نیستند، بلکه برای کارهای خاص بهینه شده اند. اگر می‌خواهید فیلم‌های SiO2 را برای تراشه‌های CMOS پرورش دهید، مدلی را که برای بازپخت حرارتی کم- ساخته شده است نگیرید.

این مسابقه سریع است:

در حال رشد فیلم های تمیز و متراکم SiO2 (برای IGBT یا MEMS)؟ با تجهیزات RTP اکسیداسیون با دمای بالا- بروید. دماهای دقیق (600-1150 درجه) را می رساند و اکسیژن را بسیار پایین{4}}برای کیفیت فیلم حیاتی نگه می دارد.

آیا نیاز به تغییر بین اکسیداسیون، انتشار و بازپخت (همه در یک دستگاه) دارید؟ تجهیزات RTP اکسیداسیون و انتشار دوست شماست. دارای 1 تا 4 لوله فرآیند است، بنابراین در صورت نیاز می توانید دو کار را همزمان انجام دهید.

آیا با اپتوالکترونیک (مانند VCSEL) که نیاز به بازپخت حرارتی کم (250 تا 500 درجه) دارند، کار می‌کنید؟ تجهیزات RTP با دمای پایین-برای این کار ساخته شده است. از سوزاندن مواد ظریف جلوگیری می‌کند و ذرات را پایین نگه می‌دارد.

فقط برای نمونه های اولیه به بازپخت اولیه (مانند لمس{0}}کاشت یون) نیاز دارید؟ دسکتاپ RTP کار را بدون پیچیدگی زیاد انجام می دهد.

3. با چه موادی کار می کنید؟

همه کوره ها با هر ماده ای خوب بازی نمی کنند.

از حدس و گمان بگذرید:

سیلیکون (برای آی سی ها یا IGBT های استاندارد)؟ اکثر مدل‌ها کار می‌کنند، اما اگر به چندین فرآیند نیاز دارید، تجهیزات RTP اکسیداسیون و انتشار عالی هستند.

مواردی با فاصله باند وسیع-مانند SiC یا GaN (برای ماژول های برق EV)؟ اگر روی فیلم‌ها تمرکز می‌کنید، تجهیزات RTP اکسیداسیون و انتشار نیازهای حرارتی بالا (400–1200 درجه) یا RTP با دمای بالا را برطرف می‌کنند.

لیتیوم نیوبات (برای اپتوالکترونیک)؟ به تجهیزات RTP با دمای پایین{0} پایبند باشید. دامنه 250 تا 500 درجه آن مانند یک مدل{4}}با حرارت بالا به مواد آسیب نمی رساند.

بعدی: به مشخصاتی که در واقع کار شما را تحت تاثیر قرار می دهد شیرجه بزنید

هنگامی که اصول اولیه را به دست آوردید، وقت آن است که مشخصاتی را که باعث ایجاد یا شکست فرآیند شما می شود بررسی کنید. به هر عددی معطل نشوید-روی این سه مورد تمرکز کنید.

کنترل دما: آن را درست انجام دهید، در غیر این صورت قطعات شما آسیب خواهند دید

اگر فرآیند شما نیاز به کنترل شدید دما دارد، سازش نکنید. به عنوان مثال:

تجهیزات RTP با دمای پایین 860میلی متر منطقه مسطح (این ناحیه با گرمای ثابت است) - مناسب برای اطمینان از اینکه هر ویفر در یک دسته از یکسان برخورد می کند.

اگر فیلم‌های SiO2 را پرورش می‌دهید که حتی یک تغییر دمای کوچک کیفیت را خراب می‌کند، تجهیزات RTP اکسیداسیون با دمای بالا به دقت 0.5 ± می‌رسد-غیر{3}}قابل مذاکره.

اگر بین دماهای پایین و زیاد (مثلاً 500-1000 درجه) جابجا شوید، RTPهای نیمه خودکار یا خودکار دارای کنترل دوگانه هستند: ترموکوپل برای دماهای پایین تر، پیرومتر برای دماهای بالاتر. بدون نیاز به تنظیمات دستی

اتوماسیون: چقدر کار می خواهید انجام دهید؟

اتوماسیون فقط "فانتزی" نیست- بلکه در مورد ثبات و سرعت است.

اگر آزمایشگاهی هستید که یک نفر نمونه ها را کنترل می کند، بارگیری دستی (تجهیزات RTP دسکتاپ) خوب است. برای 10 ویفر در هفته نیازی به ربات نخواهید داشت.

برای حجم متوسط، درب اتاق خودکار نیمه خودکار RTP در زمان صرفه جویی می کند-شما ویفر را بارگذاری می کنید، استارت را فشار می دهید و در خود به خود باز/بسته می شود. ایستادن کمتر، اشتباهات کمتر.

فروشگاه‌های-تولید بالا؟ ربات‌های RTP خودکار بارگیری، تراز کردن و خنک‌سازی را انجام می‌دهند-به علاوه به سیستم مدیریت تولید شما متصل می‌شوند. حتی دارای نرخ شکستگی ویفر زیر 1 در 10000 است. ارزش سرمایه گذاری را دارد اگر زمان خرابی برای شما هزینه دارد.

جو: ناخالصی ها را دور نگه دارید (در صورت نیاز)

اگر فرآیند شما به اکسیژن حساس است (مثل دوپینگ نیمه هادی)، این را نادیده نگیرید.

RTPهای نیمه خودکار و خودکار اکسیژن را کمتر از 1 ppm- فوق العاده تمیز نگه می دارند. آنها همچنین دارای 6 MFC (کنترل کننده جریان انبوه) هستند تا مخلوط گاز را دقیقاً همانطور که نیاز دارید تغییر دهید.

تجهیزات RTP دسکتاپ کمتر از 3 ppm-برای کارهای اساسی به اندازه کافی خوب است، اما برای فرآیندهای فوق- خالص نیست.

اگر فقط اکسیداسیون ساده انجام می دهید، 3 پی پی ام خوب است. اگر در حال ساخت تراشه‌هایی هستید که حتی یک ناخالصی کوچک عملکرد را از بین می‌برد، بهار<1 ppm models.

در نهایت: موارد کاربردی را فراموش نکنید

حتی بهترین کوره اگر متناسب با فضا یا بودجه شما نباشد، کار نخواهد کرد.

فضا: ابتدا اندازه گیری کنید، بعد خرید کنید

آزمایشگاه یا مغازه کوچک؟ RTP دسکتاپ 910mm×860mm×695mm-به اندازه یک میز بزرگ است.

تسهیلات متوسط؟ RTP نیمه خودکار (مدل 8-اینچی) 970mm×1550mm×2160mm هنوز قابل کنترل است، اما به یک نقطه اختصاصی نیاز دارید.

کارخانه بزرگ؟ مدل حفره دوگانه RTP خودکار 2100mm×2450mm×2200mm است-مطمئن شوید که فضایی برای حرکت در اطراف آن دارید.

ایمنی: غیرقابل مذاکره است (اما ما شما را تحت پوشش قرار داده ایم)

همه مدل‌های ما استانداردهای SEMI S2-قوانین ایمنی را رعایت می‌کنند. اما برخی مزایای اضافی دارند:

تجهیزات RTP خودکار دارای یک {0}دکمه توقف اضطراری است و به شما در مورد گرمای بیش از حد یا نشت آب هشدار می‌دهد-که برای عملکرد 24 ساعته و 7 روز هفته ضروری است.

تجهیزات RTP دسک‌تاپ دارای زنگ‌ها و چراغ‌های هشدار است-ساده، اما برای آزمایشگاه‌هایی که ممکن است شخصی در حال انجام چندین کار باشد مؤثر است.

هنوز گیر کرده اید؟ ما اینجا هستیم تا کمک کنیم

بیایید صادق باشیم-گاهی اوقات لازم است درباره آن صحبت کنید. اگر روی حصار هستید (مثلاً برای افزایش حجم، بین نیمه‌-خودکار و خودکار انتخاب کنید)، می‌توانیم:

در جریان کار فعلی خود و نحوه مقیاس بندی خود قدم بزنید.

به شما نمایشی از نحوه عملکرد یک مدل با فرآیند خاص شما نشان می دهد.

حتی یک مدل (مانند اضافه کردن لوله‌های فرآیند اضافی) را متناسب با نیازهای خود تغییر دهید.

ما "یک-اندازه-براساس-همه"-کوره‌هایی را نمی‌فروشیم که برای کار شما کار می‌کنند. چه در حال آزمایش مواد جدید باشید و چه در حال اجرای یک خط تولید، مدلی وجود دارد که برای شما مناسب است.

کافی است با تیم فنی ما تماس بگیرید-ما به شما کمک می‌کنیم آن را پیدا کنید.