نمای کلی محصول
این ویفر اسکرابر یک اسب کاری واقعی است-به ویفرهای 6 اینچی تا 12 اینچی رسیدگی می‌کند و هم در جریان کار ساخت ویفر و هم در فرآیند بسته‌بندی پیشرفته قرار می‌گیرد.
این برای مطابقت با نیازهای تولید شما ساخته شده است: 2-4 پورت بار و 4-8 محفظه تمیز کردن، بنابراین می توانید بسته به حجم آن را کم یا زیاد کنید. بهترین قسمت؟ تمیز کردن متوالی جلو و عقب را انجام می دهد (به لطف عملکرد چرخش ویفر) به علاوه دارای ماژول های اختصاصی برای تمیز کردن پشت و لبه است-هیچ نقطه ای از دست نمی رود.
در زیر کاپوت، از فناوری تمیز کردن هسته استفاده می‌کند که کار را به درستی انجام می‌دهد: DIW داغ و اتمیزه کردن دو-سیال N2. این ویژگی‌ها ذرات و آلاینده‌ها را کاملاً از بین می‌برند و ویفرها را بدون لکه می‌گذارند. و با پیکربندی‌های انعطاف‌پذیر، به‌طور یکپارچه با هر مقیاس تولیدی که در حال اجرا هستید، سازگار می‌شود-بدون نیاز به تنظیمات پیچیده.
مزایا
سازگاری ویفر گسترده
از ویفرهای 6 تا 12 اینچی پشتیبانی می کند که فرمت های اصلی را در ساخت و بسته بندی پوشش می دهد.
پوشش نظافتی جامع
تمیز کردن متوالی جلو/پشت (با عملکرد چرخشی) + شستشوی پشت و لبه، از بین بردن مناطق مرده در حذف آلودگی.
تمیز کردن کارآمد و کامل
فناوری اتمیزه دو{1}مایع داغ DIW + N2 کارایی تمیز کردن بالایی را برای ذرات و باقیمانده‌ها تضمین می‌کند.
پیکربندی مقیاس پذیر
2-4 پورت بار + 4–8 محفظه، مطابق با نیازهای تولید انبوه-تحقیق و توسعه دسته ای کوچک یا حجم{5}}.
برنامه های کاربردی
زمینه های اصلی:ساخت ویفر نیمه هادی، بسته بندی پیشرفته.
فرآیندهای کلیدی:تمیز کردن ذرات/بقایای سطح ویفر (شامل نواحی جلو/پشت/لبه) در طول جریان کار ساخت یا بسته بندی.
پارامترها
|
مشخصات |
جزئیات |
|
اندازه ویفر |
6-12 اینچ |
|
پورت های بارگذاری |
2-4 پورت بار |
|
اتاق های تمیز کردن |
4-8 اتاق نظافت |
|
عملکردهای تمیز کردن کلید |
- عملکرد چرخاندن ویفر (تمیز کردن متوالی جلو/پشت) |
|
فن آوری های تمیز کردن |
DIW داغ (آب دیونیزه)، مایع اتمیزه کننده N2 دو- |
|
فیلدهای کاربردی |
ساخت ویفر، بسته بندی پیشرفته |
|
هدف اصلی |
سطح ویفر / پشت / ذرات لبه / حذف باقی مانده |
سوالات متداول
این اسکرابر چه اندازه های ویفر را می تواند تمیز کند؟
از ویفرهای 6 تا 12 اینچی پشتیبانی می کند که فرمت های اصلی را در ساخت ویفر و بسته بندی پیشرفته پوشش می دهد.
آیا می تواند دو طرف ویفر را تمیز کند؟
بله-با عملکرد چرخاندن ویفر، می‌تواند طرف جلو و پشت را به ترتیب تمیز کند.
آیا لبه ویفر را هم تمیز می کند؟
کاملاً-با یک اسکرابر لبه اختصاصی، به علاوه شستشوی پشت، برای پوشش کامل-منطقه پیکربندی شده است.
از چه فناوری های تمیزکننده ای استفاده می کند؟
این ترکیبی از آب دیونیزه داغ (DIW داغ) و اتمیزه‌کننده N2 دو-مایع تمیزکننده برای حذف کارآمد ذرات/پس مانده است.
آیا می تواند با مقیاس های مختلف تولید سازگار شود؟
بله-قابل تنظیم با 2-4 پورت بار و 4-8 محفظه، هم برای تحقیق و توسعه دسته ای کوچک و هم برای تولید حجم بزرگ-.
برای چه فرآیندهایی استفاده می شود؟
این در ساخت ویفر و بسته بندی پیشرفته، با تمرکز بر تمیز کردن سطح / پشت / لبه ویفرها استفاده می شود.
تگ های محبوب: ویفر اسکرابر، تولید کنندگان اسکرابر ویفر چین، تامین کنندگان
