نمای کلی محصول
ویفر پاک کننده پشتی یک دستگاه پردازش مرطوب تخصصی است که برای تمیز کردن ویفر نیمه هادی طراحی شده است و از فرمت های ویفر 6 تا 12 اینچی پشتیبانی می کند. این دستگاه که برای گردش کار بسته بندی پیشرفته طراحی شده است، دارای پیکربندی 4 محفظه، سازگاری حامل 2 SMIF POD/FOUP و کنترل فرآیند اصلی (گرمایش، سرعت جریان، فشار) است. با توان خروجی 55 تا 60 ویفر در ساعت، عملکردهای ایمنی (محافظت از گرمای بیش از حد، تشخیص نشت) و ارتباطات SECS/GEM را برای یکپارچه سازی فابرهای هوشمند یکپارچه می کند.
مزایا
سازگاری ویفر گسترده:
ویفرهای 6 تا 12 اینچی را پشتیبانی می کند و با نیازهای مختلف بسته بندی پیشرفته سازگار است.
01
عملکرد فرآیند پایدار:
تاب خوردگی ویفر را در ± 10 میلی متر کنترل می کند و از ثبات ویفرهای نازک شده اطمینان حاصل می کند.
02
بازده کارآمد:
55 تا 60 ویفر در ساعت، سرعت و کیفیت تمیز کردن را متعادل می کند.
03
انعطاف پذیر و ایمن:
اختیاری DICO2 شیمی / حفاظت از پشت. شامل نظارت بر زهکشی و ایمنی طبقه بندی شده است.
04
ادغام کارخانه:
پشتیبانی کامل SECS/GEM برای اتصال بدون درز به سیستم های MES.
05
برنامه های کاربردی
زمینه هدف:بسته بندی نیمه هادی پیشرفته
فرآیند اصلی:تمیز کردن قسمت پشتی ویفرها پس از نازک شدن (بقایای فرآیندهای نازک شدن را برای اطمینان از قابلیت اطمینان بسته بندی حذف می کند).
پارامترها
|
مشخصات |
جزئیات |
|
اندازه ویفر |
6-12 اینچ |
|
تحمل تاب خوردگی ویفر |
کمتر یا مساوی ± 10 میلی متر |
|
توان عملیاتی (WPH) |
55-60 ویفر در ساعت |
|
اتاق ها |
4 اتاق |
|
سازگاری حامل |
2 SMIF POD/FOUP |
|
شیمی پشتیبانی می شود |
DICO2 (حفاظت پشتی اختیاری) |
|
ویژگی های کنترل فرآیند |
کنترل گرمایش، کنترل سرعت جریان، کنترل فشار |
|
ویژگی های ایمنی |
حفاظت از گرمای بیش از حد حمام، تشخیص نشت، طبقه بندی شده است |
|
پروتکل ارتباطی |
SECS/GEM |
|
فیلد برنامه هدف |
بسته بندی پیشرفته |
سوالات متداول
این پشت پاک کن از چه اندازه های ویفر پشتیبانی می کند؟
این با ویفرهای 6 تا 12 اینچی سازگار است و فرمت های رایج را در بسته بندی های پیشرفته پوشش می دهد.
حداکثر تاب برداشتن ویفر چقدر است؟
ویفرهای با تاب خوردگی کمتر یا مساوی ± 10 میلی متر را پشتیبانی می کند، مناسب برای ویفرهای نازک شده در فرآیندهای بسته بندی.
سرعت خروجی این دستگاه چقدر است؟
این می تواند 55 تا 60 ویفر را در ساعت پردازش کند و کارایی و کیفیت تمیز کردن را متعادل کند.
با چه اپراتورهایی کار می کند؟
از 2 حامل SMIF POD/FOUP پشتیبانی می کند که با سیستم های لجستیک استاندارد fab همراستا می شوند.
از چه ماده شیمیایی استفاده می کند و آیا محافظ پشتی موجود است؟
از DICO2 استفاده می کند (پیکربندی حفاظتی اختیاری از پشت ارائه شده است).
آیا می تواند به سیستم MES کارخانه ما متصل شود؟
بله-پشتیبانی کامل پروتکل ارتباطی SECS/GEM ادغام یکپارچه با MES را ممکن میسازد.
چه ویژگی های ایمنی دارد؟
این شامل محافظت در برابر گرمای بیش از حد حمام، تشخیص نشت، و زهکشی زباله طبقه بندی شده است.
تگ های محبوب: ویفر پاک کن پشت، تولید کنندگان ویفر پاک کننده پشتی چین، تامین کنندگان
