نمای کلی محصول

خشک کن ویفر عمودی -این دستگاه با دقت در ذهن ساخته شده است و به طور خاص برای نیازهای سخت آن صنایع طراحی شده است.
چه چیزی آن را کاربردی می کند؟ برای شروع، دو محفظه مستقل وجود دارد-بنابراین می‌توانید فرآیندهای مختلف را به طور همزمان بدون آلودگی متقابل- اجرا کنید که در خطوط تولید شلوغ صرفه‌جویی در زمان بسیار زیادی دارد. سپس سیستم کنترل پیشرفته وجود دارد. این فقط چیزها را "کنترل" نمی کند، بلکه همه پارامترها را به خوبی تنظیم می کند تا ثبات را ثابت نگه دارد-. و بهترین بخش این است که تمیز کردن و خشک کردن را در یک واحد ترکیب می‌کند-بدون نیاز به جابجایی ویفرها بین ماشین‌ها، کاهش در جابجایی و خطر آسیب.

در پایان، آنچه تولیدکنندگان به آن اهمیت می‌دهند قابلیت اطمینان و خلوص است-و این خشک‌کن هر دو را ارائه می‌کند. این نوع تجهیزاتی است که نه تنها با استانداردهای صنعتی مطابقت دارد، بلکه به خوبی با نحوه کار تیم های تولید واقعی مطابقت دارد.

برنامه های کاربردی

خشک کن ویفر عمودی برای انجام کار خشک کردن پس از تمیز کردن اسید SPM و تمیز کردن ارگانیک{0}}دو مرحله طراحی شده است که در آن کنترل باقی مانده از اهمیت بالایی برخوردار است. فراتر از آن، نیازهای پس از خشک کردن{2}}برای توسعه فوتولیتوگرافی، حذف نور مقاوم، حکاکی ITO/BOE و پوشش چرخشی را نیز پشتیبانی می کند. بزرگترین مزیت در اینجا قوام آن است: عدم وجود آلاینده های باقیمانده یا مسائل ذرات را تضمین می کند و کیفیت فرآیند را دسته ای پس از دسته ای ثابت نگه می دارد.

این خشک کن ویفر عمودی در سناریوهای کاربردی{0}درخطرهای زیاد نیز می درخشد. برای بسته‌بندی سطح ویفر-حسگرها و تراشه‌های میکرو، نرخ تکه تکه شدن را زیر 1/10000- نگه می‌دارد، رقمی که مستقیماً به صرفه‌جویی در هزینه برای تولیدکنندگان ترجمه می‌شود. علاوه بر این، برای پردازش ویفرهای ویژه حساس به دمای{10}}مانند گالیوم آرسنید و یاقوت کبود مناسب است. این مواد ظریف هستند، اما خشک‌کن الزامات{11}}تمیز بودن{12} و آسیب کم{12} خود را برآورده می‌کند، بنابراین نیازی به نگرانی در مورد نقص‌های مربوط به فرآیند نیست.

مزایا

مهر و موم نیتروژن Mayrinth، حفره و جداسازی حفره، بدون اثر آب بندی تماس، برای اطمینان از الزامات محیطی فرآیند.

تشخیص آنلاین شوک

عملکرد حذف الکترواستاتیک، محصول الکتریسیته ساکن را با سرعت بالا تولید می کند، استفاده از دستگاه حذف الکترواستاتیک ولتاژ بالا برای ایجاد حالت خنثی سازی سطح محصول

عملکرد بازنشانی مکانیکی-، جعبه تراشه آماده به کار را رو به بالا متوقف کنید

پارامترها

دسته بندی	مورد	مشخصات مشخصات
اطلاعات پایه	نام محصول	خشک کن دو محفظه عمودی
	شماره مدل	نیمه تمیز-QX-61-2M-A
	اندازه (مرجع)	L×D×H=عرض سطح 490 میلی متر × عمق 937 میلی متر × ارتفاع 1880 میلی متر
	وزن (تقریبا)	260 کیلوگرم
حفره و کاست فرآیند	حفره فرآیند	حفره دوگانه (بالا و پایین)، به طور مستقل قابل کنترل. می تواند روتور حامل سفارشی 6 اینچی را قرار دهد
	نوع کاست مورد استفاده	KM-40N (100 میلی متر)، A182-60MB (150 میلی متر)
	مشخصات قطعات تمیز کردن و خشک کردن	مجهز به روتورهای سفارشی 2 عدد 4 اینچی؛ کاست عرضه شده توسط مشتری، قطعات روتور نمونه طراحی نهایی هستند
پارامترهای عملیاتی	تنظیم زمان فرآیند	1s - 900s; دقت نگهداری کمتر یا مساوی 5±%
	سرعت کار	100-2500 دور در دقیقه (قابل تنظیم در هر ویژگی و فرآیند محصول)؛ خطای سرعت <±2٪
	محدوده دمای خشک کردن محفظه	حداقل: بزرگتر یا مساوی 45 درجه. حداکثر: کمتر یا مساوی 85 درجه
	نیاز به تمیزی خشک	ذرات بزرگتر یا مساوی 0.3μm < 30 دانه/ویفر
	UPTIME تجهیزات	بزرگتر یا مساوی 95%؛ میانگین مشکل ماهانه-زمان کار رایگان بیشتر یا برابر با 648 ساعت
	نرخ تکه تکه شدن عملیات	کمتر یا مساوی 1/10000
الزامات رسانه	آب دیونیزه شده	محدوده فشار: 0.2 ~ 0.4 مگاپاسکال. حداکثر جریان: 0.7 متر مکعب در ساعت
الزامات رسانه	نیتروژن	محدوده فشار: 0.5 ~ 0.6 مگاپاسکال. حداکثر مصرف: 18-20m³/h. برای گرمایش و آب بندی استفاده می شود
توابع و حفاظت	اسپری تمیز کننده	مجهز به دستگاه تمیزکننده اسپری و فرآیند{0}خود تمیز کردن حفره
	آب بندی در حین کار	درب محفظه و محور موتور با نیتروژن آب بندی شده است
	تشخیص نشت	حسگر نشتی داخلی-. برای جلوگیری از نشتی، هشدار نشتی را فعال می کند
	حفاظت از فرآیند	پس از تکمیل فرآیند، اگر درب برای خارج کردن محصولات باز نشده باشد، رابط نمی تواند کار کند و از عملیات ثانویه جلوگیری می کند
سیستم کنترل	کنترل هسته	کنترل قابل برنامه ریزی PLC؛ 10 بخش فرآیند (10 مرحله در هر بخش) را ذخیره می کند. کاربران می توانند هر تابع فرعی را در صورت نیاز روشن/خاموش کنند
	کنترل مجوز	2 نوع کنترل مجوز عملیات، که هر کدام با رمز عبور پیکربندی شده اند
	عملکرد نمایش	صفحه نمایش اطلاعات هر فرآیند را نمایش می دهد
	حالت کنترل و رابط	هر اتاق را می توان به طور مستقل کنترل کرد. رابط عملیات: صفحه نمایش لمسی LCD

سوالات متداول

این ویفر خشک کن عمودی برای کدام صنایع ساخته شده است؟

اساساً برای بخش‌های نیمه هادی و میکروالکترونیک طراحی شده است-به سناریوهایی فکر کنید که در آنها خشک کردن ویفر با خلوص بالا غیرقابل مذاکره-است. هر بخش از طراحی آن به نیازهای منحصر به فرد این صنایع متکی است.

چه فرآیندهای اصلی را می تواند انجام دهد؟

این طیف وسیعی از مراحل کلیدی پردازش ویفر را پوشش می دهد. به طور خاص، کار بعد از خشک کردن بعد از تمیز کردن اسید SPM، تمیز کردن حلال آلی، توسعه فوتولیتوگرافی، حذف نور مقاوم، حکاکی ITO/BOE، و پوشش چرخشی- همه نقاط بحرانی را که در آن خشک کردن کامل اهمیت دارد، انجام می دهد.

مزیت طراحی حفره دو-ش چیست؟

حفره های بالا و پایین به طور مستقل کار می کنند-شما می توانید هر کدام را جداگانه کنترل کنید. این بدان معناست که شما می توانید ویفرها را در هر دو به طور همزمان پردازش کنید، که واقعا کارایی تولید را افزایش می دهد. به علاوه، اگر فرآیندهای مختلف به پارامترهای متفاوتی نیاز داشته باشند، هر حفره می‌تواند تنظیمات خود را به خوبی انجام دهد.

استاندارد تمیزی بعد از خشک شدن چیست؟

این بسیار سختگیرانه است و دلیل خوبی دارد. پس از خشک شدن، هر ویفر کمتر از 30 ذره دارد که 0.3 میکرومتر یا بزرگتر هستند. این دقیقاً مطابق با خواسته‌های{4}} خلوص بالای تولید نیمه هادی است.

آیا کار با آن آسان است؟

کاملا. دارای صفحه نمایش لمسی LCD و کنترل قابل برنامه ریزی PLC{1}}بسیار بصری است. شما می توانید تا 10 بخش فرآیند را ذخیره کنید و هر بخش می تواند 10 مرحله داشته باشد. همچنین یک مدیریت رمز عبور دوگانه-برای امنیت وجود دارد. حتی اپراتورهای جدید به سرعت اصول اولیه را برمی دارند.

تجهیزات چقدر قابل اعتماد هستند؟

ثبات عملیاتی آن یک نقطه فروش بزرگ است. UPTIME تجهیزات حداقل به 95% می رسد و به طور متوسط 648 ساعت یا بیشتر در هر ماه بدون مشکل کار می کند. بهتر از آن، نرخ تکه تکه شدن ویفر در حین کار بیش از 1/10000 نیست-بنابراین شما در اثر اشکالات تجهیزات چیز زیادی از دست نخواهید داد.

برای اجرا به چه رسانه ای نیاز دارد؟

فقط دو نوع: آب دیونیزه و نیتروژن. آب دیونیزه شده به فشاری بین 0.2-0.4 مگاپاسکال، با حداکثر دبی 0.7 متر مکعب در ساعت نیاز دارد. نیتروژن به فشار 0.5-0.6Mpa نیاز دارد و حداکثر از 18-20m³/h استفاده می کند. آنها به ترتیب برای تمیز کردن، گرم کردن و آب بندی استفاده می شوند - هر کدام نقش کلیدی در انجام درست کار دارند.

تگ های محبوب: ویفر خشک کن عمودی، تولید کنندگان خشک کن ویفر عمودی چین، تامین کنندگان