نمای کلی محصول
خشککن ویفر افقی یک خشککن کاملاً خودکار است که برای تولید نیمههادیها ساخته شده است. دارای کنترل هوشمند، عملکرد پایدار، و خشک کردن با دقت بالا همه در یک واحد است. طراحی شده برای جفت شدن با ماشین های تمیز کننده یا تجهیزات حکاکی ویفر، بسترهای نیمه هادی را از طریق پردازش "خشک کردن → خشک کردن" به طور یکپارچه دریافت می کند.
مزایا
این خشک کن ویفر افقی یک خشک کن جریان آرام است (در-مدل تمام اتوماتیک بنچ خطی) که می تواند در دستگاه تمیز کننده یا دستگاه ویفر اچ ساخته شود و می تواند بر اساس نیاز مشتری سفارشی شود. از طریق تراشه زیرلایه تمیزکننده QDR یا DIW (-تمیز کردن آب فوقالعاده خالص)، بهطوریکه تجهیزات تمیزکننده در خشک شدن (Dry in) خشک شوند (Dry out).
مزایا
کنترل هوشمند PLC همه عملیات را قابل اعتماد و برنامه را هوشمند می کند.
درایو تسمه موتور با فرکانس متغیر، مهر و موم نیتروژن چرخان شفت، طراحی پیچ و خم، تعمیر و نگهداری کم، اطمینان حاصل کنید که حفره عملیات تجهیزات از محیط خارجی جدا شده است.
مکانیسم چرخش با تعادل دینامیکی دقیق بررسی می شود و قاب اصلی ساختار یاتاقان را برای اطمینان از تعادل و پایداری سیستم، کاهش تولید منبع ارتعاش و تا حد زیادی کاهش نرخ تکه تکه شدن اتخاذ می کند.
بالا از سیستم کمکی گرمایش سیلیکونی وارداتی استفاده می کند که بدون آب خشک و خشک می شود.
با استفاده از سیستم گرمایش الکتریکی، گرمایش سریع، کنترل آسان و دمای پایدار.
پارامترها
|
اطلاعات پایه |
ابعاد |
780mm (W) × 1510mm (D) × 1140mm (H) (ارتفاع در: 1820mm) |
|
وزن |
تقریباً. 450 کیلوگرم |
|
|
پارامترهای مشخصات |
ولتاژ مورد نیاز |
AC 380V، 3 فاز، 50Hz/60Hz (40A) |
|
هوای فشرده (CDA) |
رابط اتصال لوله 0.5 مگا پاسکال، 15 لیتر در دقیقه، 3/8 اینچ |
|
|
پارامتر اگزوز |
حداکثر سرعت جریان: 18-20 متر مکعب در ساعت، قطر رابط: 110 میلی متر، پشتیبانی از اتصال شل یا اتصال شلنگ |
|
|
پارامتر زهکشی |
حداکثر سرعت جریان: 0.5m³/h، رابط: اتصال شل DN32 PVC |
|
|
پیکربندی موتور |
AC 380 ولت / 3 فاز / 5 سیم / 3 اسب بخار |
|
|
کنترل سرعت |
کنترل اینورتر؛ سرعت کار استاندارد: 800 دور در دقیقه، حداکثر سرعت: 999 دور در دقیقه. حداکثر سرعت را می توان با توجه به مواد مشتری تنظیم کرد |
|
|
شتاب / زمان کاهش سرعت |
شتاب: 25 ثانیه از 0 RPM تا 600 RPM. کاهش سرعت: 40 ثانیه از 600 دور در دقیقه تا 0 دور در دقیقه (قابل تنظیم) |
|
|
جهت چرخش |
در جهت عقربه های ساعت (از نمای بالا) |
|
|
شاخص ارتعاش |
در 350 RPM، جابجایی P{1}P محورهای X، Y، Z کمتر یا مساوی 90 میکرومتر است |
|
|
تایمر |
قابل تنظیم از طریق رابط انسانی-(صفحه لمسی) |
|
|
درمان سطح تجهیزات |
فرآیند پاشش ورق فلز |
|
|
شاخص های عملکرد |
بار-ظرفیت باربری |
قابلیت حمل 2 عدد کاست 6-اینچی "فول-کاور" / 2 عدد کاست و ویفر "فول کاور" 4 اینچی (کاست های ارائه شده توسط مشتری) |
|
مواد قابل اجرا |
مواد نیمه هادی مختلف با ضخامت بیشتر یا مساوی 300μm (شامل) |
|
|
نرخ تکه تکه شدن |
کمتر یا مساوی 1/10000 (شامل)؛ توجه: تکه تکه شدن ناشی از حوادث غیرمنتظره یا خرابی ناشی از اجزای ماشین در این نشانگر گنجانده شده است. تکه تکه شدن ناشی از نقص محصول شامل نمی شود |
|
|
اطلاعات پایه |
ابعاد تجهیزات |
780mm (W) × 1510mm (D) × 1140mm (H) (ارتفاع در: 1820mm) |
|
وزن تجهیزات |
تقریباً. 450 کیلوگرم |
|
|
پارامترهای مشخصات |
ولتاژ مورد نیاز |
AC 380V، 3 فاز، 50Hz/60Hz (40A) |
|
هوای فشرده (CDA) |
رابط اتصال لوله 0.5 مگا پاسکال، 15 لیتر در دقیقه، 3/8 اینچ |
|
|
پارامتر اگزوز |
حداکثر سرعت جریان: 18-20 متر مکعب در ساعت، قطر رابط: 110 میلی متر، پشتیبانی از اتصال شل یا اتصال شلنگ |
|
|
پارامتر زهکشی |
حداکثر سرعت جریان: 0.5m³/h، رابط: اتصال شل DN32 PVC |
|
|
پیکربندی موتور |
AC 380 ولت / 3 فاز / 5 سیم / 3 اسب بخار |
|
|
کنترل سرعت |
کنترل اینورتر؛ سرعت کار استاندارد: 800 دور در دقیقه، حداکثر سرعت: 999 دور در دقیقه. حداکثر سرعت را می توان با توجه به مواد مشتری تنظیم کرد |
|
|
شتاب / زمان کاهش سرعت |
شتاب: 25 ثانیه از 0 RPM تا 600 RPM. کاهش سرعت: 40 ثانیه از 600 دور در دقیقه تا 0 دور در دقیقه (قابل تنظیم) |
سوالات متداول
1. این ویفر خشک کن افقی برای چه موادی مناسب است؟
این برای خشک کردن مواد نیمه هادی مختلف با ضخامت بیشتر یا مساوی 300 میکرومتر (شامل) تخصصی است، که با کاست های 6{3}} اینچی و 4 اینچی "کاور کامل" (کاست های ارائه شده توسط مشتری) سازگار است.
2. مزایای عملکرد اصلی چیست؟
مزایای کلیدی عبارتند از نرخ تکه تکه شدن کمتر از یا برابر با 1/10000، کنترل هوشمند PLC، مهر و موم شفت نیتروژن (طراحی پیچ و خم) برای جداسازی محیطی، و گرمایش الکتریکی سریع و پایدار بدون چکه پس از خشک شدن.
3. آیا می توان آن را با خطوط تولید موجود ادغام کرد؟
بله، این یک مدل نیمکت خطی کاملاً خودکار است که میتواند در ماشینهای تمیزکننده یا تجهیزات حکاکی ویفر تعبیه شود و از یکپارچهسازی فرآیند "خشک کردن → خشک کردن" پشتیبانی میکند.
4. آیا عملیات کاربر پسند-است؟
مجهز به HMI (صفحه نمایش لمسی) و کابل های 5 متری، امکان تنظیم آسان تایمر، محدودیت سرعت و سایر پارامترها را فراهم می کند. روکش درب سیلندر{1}}کارکرد راحت را ممکن میسازد.
تگ های محبوب: ویفر خشک کن افقی، تولید کنندگان خشک کن ویفر افقی چین، تامین کنندگان
