توانمندسازی یک ارتفاع جدید در تولید نیمه هادی

تقویت یک ارتفاع جدید در تولید نیمه هادی! Nice Tech دو سری-تجهیزات LPCVD، متعادل کردن دقت و کارایی را راه اندازی کرد

اگر پیشرفت‌های تجهیزات نیمه‌رسانا را دنبال کرده‌اید، می‌دانید که ابزارهای LPCVD چقدر قابل اعتماد هستند-به‌خصوص برای تیم‌هایی که هم تحقیق و توسعه و هم تولید انبوه را انجام می‌دهند. به همین دلیل است که سری‌های LPCVD افقی و عمودی Nice Tech که به‌تازگی-رونمایی شده است، مانند یک تغییر-بازی است. اینها فقط "مجموعه دیگری از ماشین ها" نیستند. آنها برای رفع نقاط درد واقعی ساخته شده اند که از مهندسان شنیده ایم: یکنواختی فیلم لکه دار، محدودیت های اندازه ویفر سفت و سخت، و دردسر تعویض بین فرآیندها.

برای هر کسی که با LPCVD تازه کار است: این پایه اصلی ساخت فیلم های نیمه هادی کلیدی-نیترید سیلیکون، اکسید، سیلیکون پلی کریستالی-با حرارت دادن ترکیبات گاز تحت فشار کم برای پوشش ویفرها است. Nice Tech سال‌هاست که این فناوری را تغییر داده است و با این دو مدل، آنچه را که تیم‌های مختلف واقعاً به آن نیاز دارند، به صفر رسانده‌اند.

ابتدا LPCVD افقی را بگیرید. این برای افرادی ساخته شده است که چندین کلاه بر سر می‌گذارند-مثل تیم‌های تحقیق و توسعه که یک هفته فرآیندهای جدید را آزمایش می‌کنند و در هفته بعد تولیدات کوچک- را افزایش می‌دهند. بدون سر و صدا بین اکسیداسیون، انتشار و بازپخت سوئیچ می‌کند که در مقایسه با استفاده از ابزارهای جداگانه در زمان بسیار صرفه‌جویی می‌کند. ما دیده‌ایم که آزمایشگاه‌ها ساعت‌ها را برای پیکربندی مجدد تجهیزات تلف می‌کنند. این یکی آن را قطع می کند. ویفرهای 8 اینچی و کوچکتر را کنترل می کند و یکنواختی فیلم را دارد؟ به طور مداوم زیر 2 ±٪. به‌علاوه، ساخت آن برای هفته‌ها بدون توقف کار سختی دارد، که وقتی در یک جدول زمانی پروژه فشرده هستید اهمیت دارد.

LPCVD افقی

سپس Vertical LPCVD وجود دارد که برای لیگ های بزرگ ساخته شده است: تولید انبوه ویفرهای 6-12 اینچی. اگر خط شما تماماً در مورد اتوماسیون است (و بیایید واقعی باشیم، اکثر امکانات مدرن هستند)، این کاملاً مناسب است. دیگر نیازی به تنظیمات دستی نیست که سرعت کار را کاهش دهد-با خطوط تولید هوشمند به طور یکپارچه همگام می‌شود. همچنین رسوب لایه نازک SiC-را میخکوب می‌کند، که برای دستگاه‌های با قدرت دمای بالا در نیمه‌هادی‌های-گپ باند وسیع بسیار بزرگ است. یکنواختی در اینجا ± 3 درصد است که برای اجراهای در مقیاس بزرگ بیش از اندازه کافی است و بدون افت کیفیت با اهداف تولیدی محکم پیش می رود.

LPCVD عمودی

هر دو در برخی اصول هوشمند مشترک هستند: کنترل دما که در ± 0.5 درجه باقی می ماند (برای فیلم های ثابت حیاتی است) و محدوده 500{3}}800 درجه که برای اکثر لایه های نازک معمولی کار می کند. و اگر به چیزی فراتر از سه فیلم استاندارد نیاز دارید؟ تیم Nice Tech یک راه حل سفارشی را هش می کند - ما با مهندسان آنها صحبت کرده ایم و آنها در مورد بهینه سازی فرآیندها برای نیازهای خاص بسیار انعطاف پذیر هستند.

این چیزی است که ما بیشتر از همه دوست داریم: آنها شما را مجبور نمی کنند بین "ابزار تحقیق و توسعه" و "ابزار تولید" یکی را انتخاب کنید. Horizontal برای آزمایشگاه هایی که فیلم های لیتیوم نیوبات یا تراشه های کوانتومی را آزمایش می کنند عالی است. Vertical در کارخانه هایی که ویفرهای 12{4}}اینچی را برای آی سی تولید می کنند می درخشد. و نگهداری؟ هر 6 تا 12 ماه، فقط حفره را تمیز کنید و دما را کالیبره کنید - Nice Tech حتی یادآورهایی ارسال می کند تا فراموش نکنید.

مهندس ارشد Nice Tech آن را به سادگی بیان کرد: "ما فقط ماشین‌ها را نساخته‌ایم-ما چیزی ساختیم که با کار شما رشد کند." این حال و هوای اینجاست. این ابزارها در مورد علامت زدن کادرها نیستند. آنها در مورد آسان تر کردن تیم ها برای رسیدن به اهداف خود هستند، خواه اعتبار بخشیدن به یک فرآیند جدید باشد یا افزایش تولید.

در حال حاضر، پیش-سفارش‌ها باز هستند. اگر از ابزارهایی خسته شده اید که فقط یک کار را انجام می دهند، یا برای ادامه کار نیاز به مدرک دکترا دارند، ارزش دارد با تیم آنها تماس بگیرید. ما فکر می‌کنیم این می‌تواند نوعی ابزار باشد که سردرد را از-رسوب لایه نازک-هم برای آزمایشگاه و هم برای کف کارخانه از بین می‌برد.