Oxidation and Diffusion RTP Equipment یک ابزار اصلی پردازش حرارتی برای نیمه رساناها است-که اکسیداسیون، انتشار و بازپخت را در یک واحد ناهموار ترکیب می کند. این یکپارچه با سیلیکون، کاربید سیلیکون و سایر مواد حیاتی کار میکند، ویفرهای تا 8 اینچ را مدیریت میکند، و به دلیل عملکرد قابل اعتماد و کنترل دقیق که نیازهای روزانه پردازش نیمهرسانا را برآورده میکند، شهرت کسب کرده است.
برنامه های اصلی
1. تولید انبوه دستگاههای مبتنی بر سیلیکون-: این دستگاه نیروی کار پشت IC، IGBT و اجزای مشابه است. شما از آن برای رشد فیلم های عایق از طریق اکسیداسیون، شماره گیری سطوح دوپینگ با انتشار، و رفع عیوب از طریق بازپخت استفاده خواهید کرد-همه اینها در حالی که با خروجی-بالا مورد نیاز در لوازم الکترونیکی مصرفی و کنترل صنعتی همگام هستید.
2. پردازش مواد با شکاف وسیع{1}: این ابزار واقعاً با مواد پیشرفته مانند SiC و GaN به کار میرود. این به شما امکان میدهد غلظت دوپینگ را دقیقاً تنظیم کنید و رابطهای مواد را صاف کنید، که برای ساخت-قطعات با عملکرد{4} بالا{4}}ماژولهای قدرت برای وسایل نقلیه انرژی جدید که نیاز به مقاومت در برابر شرایط سخت دارند، کلیدی است.
3. تحقیق و توسعه نیمه هادی: دانشگاه ها و آزمایشگاه ها به دلیل انعطاف پذیری آن به آن سوگند یاد می کنند. این یک پلت فرم چند-فرایندی است که به محققان اجازه میدهد بدون دردسر بین اکسیداسیون، انتشار و موارد دیگر حرکت کنند-برای آزمایش مواد جدیدی مانند اکسید گالیوم یا آزمایشهای انجام شده برای مشاهده چگونگی تکان دادن پارامترهای مختلف ایدهآل است.
کاربران ایده آل
1.-شرکتهای تولیدی در مقیاس بزرگ: اگر نیمههادیها را برای وسایل الکترونیکی مصرفی یا وسایل نقلیه با انرژی جدید تولید میکنید، این تجهیزات ضروری است-. طراحی همه در یک-در{5}}هزینههای اضافی را کاهش میدهد و جریان کار را در حرکت نگه میدارد، در حالی که عملکرد ثابت آن تضمین میکند که تولید در مسیر باقی میماند و بازده ثابت میماند-هیچ زمان توقف غیرمنتظرهای باعث کاهش سرعت شما نمیشود.
2. مؤسسات تحقیقاتی و دانشگاه ها: برای تیم هایی که در حال حفاری در مواد نیمه هادی جدید هستند، این ابزار مناسب است. آزمایشهای دستهای کوچک را به آسانی انجام میدهد، با طیف وسیعی از مواد کار میکند، و به شما امکان میدهد پارامترهای فرآیند را در صورت نیاز تغییر دهید-به افزایش سرعت نوآوری بدون به خطر انداختن نتایج کمک میکند.
3. تولید کنندگان دستگاه های متوسط و کوچک: اگر نیاز دارید که سفارشات سفارشی را با تولید دسته جمعی کنید، این تجهیزات انتخاب هوشمندانه ای است. با چندین ماده کار میکند، بنابراین لازم نیست ابزار جداگانهای برای فرآیندهای مختلف بخرید، و راهاندازی 1-4 لوله فرآیند آن به شما امکان میدهد ظرفیت را افزایش یا کاهش دهید. این چابکی یک مزیت بزرگ زمانی است که میخواهید در بازاری که به سرعت در حال حرکت است، رقابت کنید.
