تجهیزات RTP اکسیداسیون با دمای بالا ما یک ابزار حرارتی اصلی برای-تولید نیمه‌رسانا در مقیاس بزرگ{2}}کار اصلی آن ایجاد لایه‌های تمیز و متراکم SiO2 بر روی بسترهای سیلیکونی است که برای ساخت دستگاه‌های CMOS، IGBT و MEMS مناسب است. این به طور گسترده در تولید نیمه هادی، الکترونیک انرژی جدید، قطعات الکترونیکی پیشرفته{{4}، و حتی تنظیمات دانشگاه/آزمایشگاه تحقیقاتی برای تحقیق و توسعه نیمه هادی و تولید آزمایشی استفاده می شود.
نحوه انتخاب مدل مناسب
انتخاب مناسب به نیازها و فرآیندهای تولید شما بستگی دارد-در اینجا یک تفکیک ساده وجود دارد:
1. 12-مدل اینچی
اگر به تولید انبوه پیشرفته-ویفرهای اندازه بزرگ علاقه دارید، این یکی است. می‌تواند بیشتر یا برابر با 125 ویفر در هر قایق را تحمل کند، بنابراین برای تولید-حجم و مقیاس بزرگ- دستگاه‌های نیمه‌رسانای هسته عالی است. بعلاوه، کنترل دقیق دما (0.5± درجه) و یک منطقه دمای ثابت بیشتر از یا مساوی 850 میلی‌متر را ارائه می‌دهد که ضخامت لایه ثابت (WIW/WTW/RTR کمتر یا مساوی 2±٪) را برای هر دسته تضمین می‌کند.
2. 8-مدل اینچی
این یکی همه در مورد انعطاف پذیری است. با چند روش اکسیداسیون-اکسیژن خشک (Si) و اکسیژن مرطوب (تبخیر سریع/حمام آب/اشتعال HO) کار می‌کند-بنابراین اکثر نیازهای تولید انبوه جریان اصلی را برآورده می‌کند. دما{4}}از 600-1150 درجه با دقت کنترل کمتر یا مساوی ± 0.5 درجه متغیر است، و منطقه دمای ثابت آن (300-860 میلی‌متر) یکنواختی فیلم قابل اطمینان (WIW/WTW کمتر یا مساوی 2±٪) ارائه می‌کند. این برای تولید انبوه 8 اینچی طراحی شده است، بنابراین راندمان با نیازهای مقیاس بزرگ برابری می کند.
برای چه کسی و کجا مناسب است
تولید کنندگان بزرگ نیمه هادی: مدل 12{1}}اینچی برای استفاده از تراشه‌های CMOS، دستگاه‌های قدرت IGBT و سایر اجزای اصلی در حجم‌های بالا، مورد استفاده شماست.
جریان اصلی شرکت های الکترونیک/انرژی نو: مدل 8{1}}اینچ در اینجا می‌درخشد-چه در حال ساخت لوازم الکترونیکی خودرو، قطعات هسته ارتباطی 5G، تراشه‌های الکترونیکی مصرفی یا نیمه‌هادی‌های قدرت باشید، سازگاری چند فرآیندی آن باعث می‌شود که تولید روان بماند.
دانشگاه ها و موسسات تحقیقاتی: مدل 8{1}}اینچی برای آزمایش مواد نیمه هادی جدید یا توسعه نمونه های اولیه دستگاه های پیشرفته بسیار مناسب است. به راحتی با تنظیمات مختلف تحقیق و توسعه سازگار می شود، که یک مزیت بزرگ برای کارهای آزمایشگاهی است.
یک نکته سریع در مورد کیفیت: ما از مواد حرفه‌ای و طراحی ساختاری هوشمند برای محفظه استفاده می‌کنیم، بنابراین خلوص فیلم تضمین می‌شود-هیچ ناخالصی ناخواسته‌ای که همه چیز را خراب نمی‌کند. و هر دو مدل به لطف کنترل دقیق دما و کیفیت فیلم ثابت، در فرآیندهای پایدار عالی هستند.
هنوز مطمئن نیستید که کدام مناسب تر است؟ با ما تماس بگیرید، و ما به شما کمک خواهیم کرد تا تجهیزات مناسب برای گردش کار خود را پیدا کنید!
