در تولید نیمه هادی، چرخ دنده پردازش حرارتی سریع (RTP) عملکرد ویفر و سازگاری فرآیند را ایجاد می کند یا می شکند. تجهیزات RTP خودکار برای تولید انبوه ساخته شده است-با ویفرهای 8-12 اینچی کار میکند، کاملاً خودکار کار میکند و دما را ثابت نگه میدارد. اما انتخاب مدل مناسب همیشه ساده نیست، و فهمیدن اینکه آیا با جریان کاری شما مطابقت دارد یا خیر، می تواند مشکل باشد. بیایید آن را به صورت ساده تجزیه کنیم.
I. سه مرحله ساده برای انتخاب مدل مناسب
مرحله 1: با حجم تولید خود شروع کنید (حفره + کاست)
منفرد-حفره (RTP-200): 1 حفره، 2 کاست، 5 ویفر را در ساعت پردازش می کند و به ندرت خراب می شود (MTBF بیشتر یا مساوی 200 ساعت). اگر روزی 100 یا کمتر ویفر درست میکنید، یا فرآیندهای جدید را آزمایش میکنید، این یک شرط مطمئن است-کار را بدون هزینه اضافی انجام میدهد.
حفره دوگانه-(RTP-300): 2 حفره، 2-3 کاست و قدرت بیشتر (تا 200 کیلووات برای مدل DTS-12). اگر روزانه بیش از 100 ویفر تولید می کنید و نیاز به تولید بی وقفه دارید عالی است. تعمیر و نگهداری نیز سریع است (MTTR کمتر یا برابر با 4 ساعت)، بنابراین زمان از کار افتادگی حداقل می ماند.
مرحله 2: پارامترها را با ویفرها و فرآیندهای خود مطابقت دهید
اندازه ویفر: اگر از 8-اینچ به 12 اینچ میروید، نیازی به تعویض تجهیزات نیست، فقط نرمافزار را تغییر دهید. اگر قصد دارید بعداً بزرگ شوید بسیار مفید است.
نیازهای دما:
کارهای کم-گرمای (دمای اتاق تا 800 درجه): از ترموکوپل استفاده میکند، دما را در 3± درجه ثابت نگه میدارد -برای بازپخت با استرس کم-خوب است.
کارهای گرم{0}بالا (500-1250 درجه): متکی به پیرومترها، با یکنواختی تا %0.5± بالای 600 درجه. برای ویفرهای لخت نیز سریع-150 درجه در ثانیه گرم میشود - برای فعالسازی کاشت یون یا بازپخت لایه نازک عالی است.
نوع حامل: حاملهای SiC به 20 درجه در ثانیه میرسند، در حالی که حاملهای گرافیتی پوششدادهشده SiC به 30 درجه در ثانیه میرسند-چیزی را که با تنظیمات شما مطابقت دارد انتخاب کنید.
مرحله 3: مطمئن شوید که با تنظیمات موجود شما خوب بازی می کند
گزینه های کاست: با هر دو سیستم SMIF (بسته، بدون گرد و غبار-) و کاست باز (باز، دسترسی آسان تر) کار می کند-بدون نیاز به تعمیرات اساسی تنظیمات فعلی شما.
یکپارچه سازی سیستم: بدون دردسر مستقیماً به نرم افزار EAP/MES شما متصل می شود. بعلاوه، میتوانید فرآیندهای مختلفی را برای ویفرها در یک نوار تنظیم کنید-اگر اجراهای سفارشی کوچک-دستهای انجام میدهید بسیار مفید است.
ایمنی و قابلیت ردیابی: سه سطح دسترسی کاربر (دادهها را ایمن نگه میدارد)، همه اطلاعات فرآیند را برای بررسیهای بعدی ذخیره میکند، و اگر مشکلی-مثل گرم شدن بیش از حد، نشت آب یا فشار نامناسب رخ دهد، خاموش میشود. یک -ایستگاه اضطراری کلیدی نجات دهنده است و شکستن ویفر بسیار نادر است (کمتر از 1 در 10000).
II. چه کسی واقعاً از این تجهیزات سود می برد؟
تولید کنندگان نیمه هادی های متوسط-تا-بزرگ(IC ها، نیمه هادی های قدرت، نیمه هادی های مرکب): شما به تجهیزاتی نیاز دارید که به طور قابل اعتماد کار کند (زمان آپدیت بیش از 92%)، دقیق بماند (تکرارپذیری دما ± 1 درجه) و با کسب و کار شما رشد کند-این همه جعبه ها را بررسی می کند.
شرکت های بسته بندی/آزمایش نیمه هادی: بسته بندی ویفر-سطح (WLP) یا سیستم-در-بسته (SiP) به پردازش ملایم و ثابت نیاز دارد. سرعت شکستگی پایین و تنظیمات فرآیند انعطاف پذیر این تجهیزات، آن را بسیار مناسب کرده است.
سازندگان مواد الکترونیکی پیشرفته-(زیرهای SiC/GaN، ویفرهای اپیتاکسیال): شما به حرارت بالا تمیز، یکنواخت و چرخه حرارتی سریع نیاز دارید. با سطح اکسیژن کمتر از 1ppm، این دنده مواد شما را خالص و با کیفیت{2}} بالا نگه می دارد.
III. جایی که بهترین کار را می کند
تولید آی سی: فعال سازی کاشت یون و بازپخت سیلیسید-دو مرحله حیاتی که در آن کنترل دما نمی تواند خاموش باشد.
تولید نیمه هادی برق: عملیات حرارتی{0} بالا را برای دستگاه های SiC و GaN انجام می دهد که به پردازش سخت و دقیق نیاز دارند.
پردازش ویفر زیرلایه/اپیتاکسیال: عیوب را صاف می کند و استرس را در بسترهای نیمه هادی نسل سوم و ویفرهای همپایه{0}} کاهش می دهد.
بسته بندی سطح ویفر-: پیوند بین تراشه ها و ویفرها را بدون آسیب رساندن به اجزای ظریف تقویت می کند-همه بصورت خودکار، بنابراین خطای انسانی وجود ندارد.
بسته بندی
انتخاب تجهیزات RTP خودکار به سه چیز خلاصه می شود: حفره ها را با حجم تولید خود مطابقت دهید، پارامترها را با فرآیندهای خود و اطمینان حاصل کنید که با آنچه قبلاً دارید یکپارچه می شود. این یک ابزار-یک اندازه-براساس-همه نیست، اما برای شرکتهای نیمهرساناهای متوسط تا-بزرگ، فروشگاههای بستهبندی/آزمایش، و سازندگان مواد الکترونیکی، ابزار قابل اعتمادی است-بهویژه برای محصولات با دقت{{7}حجم{8} بالا. اگر فرآیندهای آنیلینگ را ارتقا می دهید، مقیاس را افزایش می دهید یا فقط به ثبات بیشتری نیاز دارید، این تجهیزات ارزش نگاه دقیق تری را دارد.
