نمای کلی محصول

این تجهیزات RTP نیمه خودکار کاملاً کاربردی است و قادر به پردازش ویفر از 8 تا 12 اینچ است. تجهیزات نیمه خودکار RTP کنترل دقیق دما و محتوای اکسیژن بسیار پایین را ارائه می‌کند و برای کاربردهایی که به خلوص فرآیند بالا نیاز دارند ایده‌آل است. علاوه بر این، دارای ویژگی-غنی است، از هر دو روش پردازش اتمسفری و خلاء پشتیبانی می‌کند و دارای ویژگی‌های ایمنی سه‌گانه است. این برای فرآیندهایی مانند بهینه‌سازی ITO و بازپخت آلیاژ سیلیسید در تولید متوسط-مناسب است.

مزایا

سازگاری گسترده:

ویفرهای 8 تا 12 اینچی را دسته می کند و نیازهای تولید دسته ای در اندازه های مختلف را برآورده می کند. لامپ های انعطاف پذیر و پیکربندی های SCR با سناریوهای فرآیندی متنوع سازگار می شوند.

اتوماسیون کارایی را افزایش می دهد:

در حالی که بارگیری و تخلیه دستی ویفر هنوز مورد نیاز است، درب محفظه به طور خودکار پس از راه اندازی فرآیند باز و بسته می شود، که مداخله دستی را کاهش می دهد و کارایی عملیاتی و سازگاری فرآیند را بهبود می بخشد.

جو دقیق:

محتوای اکسیژن<1ppm, combined with 6-channel MFC, enables precise control of the reaction atmosphere, suitable for impurity-sensitive annealing processes.

ایمن و قابل اعتماد:

مجهز به ویژگی های ایمنی سه گانه، همراه با کنترل اتوماتیک درب محفظه، کاهش خطرات عملیاتی و فرآیندی و تضمین عملکرد پایدار تجهیزات.

پارامترها

مدل	RTP{0}}SA-8	RTP{0}}SA-12
اندازه ویفر	8 اینچ به پایین	12 اینچ به پایین
اندازه	970mm×1550mm×2160mm (W×D×H)	1050mm×1740mm×2240mm (W×D×H)
محدوده دما	RT~~800 درجه (کنترل شده توسط ترموکوپل) 500 درجه ~ 1250 درجه (کنترل شده توسط پیرومتر)	RT~~800 درجه (کنترل شده توسط ترموکوپل) 500 درجه ~ 1250 درجه (کنترل شده توسط پیرومتر)
حداکثر نرخ گرمایش	150 درجه / ثانیه --- فقط ویفر حامل 20 درجه /s---SiC 30 درجه /s --- پوشش حامل گرافیتی SiC	150 درجه / ثانیه --- فقط ویفر حامل 20 درجه /s---SiC 30 درجه /s --- پوشش حامل گرافیتی SiC
یکنواختی دما	کمتر یا مساوی ± 3 درجه @ کمتر یا مساوی 600 درجه کمتر یا مساوی ± 0.5٪ @ ~600 درجه	کمتر یا مساوی ± 3 درجه @ کمتر یا مساوی 600 درجه کمتر یا مساوی ± 0.5٪ @ ~600 درجه
تکرارپذیری دما	± 1 درجه	± 1 درجه
تعداد لامپ/SCR	33 ea / 10 ست	41 ea / 16 مجموعه مجموعه 55ea / 24
حداکثر MFC	6	6
کمترین فشار	30mTorr	30mTorr
نرخ نشت	10mTorr/min	10mTorr/min
O₂درصد	1 ppm	1 ppm
حداکثر/میانگین توان	90/50 کیلووات	100/60 کیلووات
ولتاژ	سیم 380 ولت / 60 هرتز / 3 فاز 5	سیم 380 ولت / 60 هرتز / 3 فاز 5
روش کنترل	کنترل کامپیوتر	کنترل کامپیوتر

سوالات متداول

1. درب اتاق به طور خودکار باز/بسته نمی شود؟

بررسی کنید که آیا فرآیند به طور معمول شروع شده است. تجهیزات را دوباره راه اندازی کنید و دوباره امتحان کنید. اگر مشکل همچنان ادامه داشت، سیم کشی سنسور درب محفظه را بررسی کنید.

2. محتوای اکسیژن از 1 پی پی ام بیشتر است؟

گاز بی اثر با خلوص بالا- جایگزین کنید. نشتی در خط لوله گاز را بررسی کنید. سطوح اکسیژن را تعمیر و دوباره آزمایش کنید.

3. گرمایش ناهموار ویفر؟

اطمینان حاصل کنید که اندازه ویفر صحیح است (8/12 اینچ). محفظه کوارتز را تمیز کنید. اگر مشکل همچنان ادامه داشت، برای تنظیم قدرت لامپ با یک مهندس تماس بگیرید.

4. ویفر به راحتی در حین بارگیری/تخلیه دستی لیز می خورد؟

سطح حامل را تمیز کنید. ویفر را در حین بارگیری/تخلیه به آرامی به مرکز فشار دهید. دستکش‌های{2}}عاری از گرد و غبار-بپوشید.

5. چگونه در مواقع اضطراری توقف کنیم؟

برای قطع منبع حرارت، "ایمو Emergency Stop" را فشار دهید. پس از رفع مشکل، دکمه "Reset" را فشار دهید تا راه اندازی مجدد شود.