آیا از تجهیزات حجیم که آزمایشگاه یا فضای تولید کوچک شما را اشغال می کند خسته شده اید؟ سیستم RTP{2}}100 دسکتاپ RTP برای ویفرهای کوچک (حداکثر 6 اینچ)-برای تیم‌هایی که نیاز به دقت و بدون کاهش متراژ مربع دارند، ایده‌آل است. این ساده، قابل اعتماد و متناسب با نیازهای روزمره محققان و تولیدکنندگان دسته کوچک است.
آنچه در مورد آن دوست داریم
مانند یک دستکش مناسب است: در 910 میلی‌متر×860 میلی‌متر×695 میلی‌متر (W×D×H)، به گوشه‌های تنگ یا میزهای کاری شلوغ می‌لغزد. بدون نیاز به تنظیم مجدد کل تنظیمات خود فقط برای افزودن قابلیت پردازش حرارتی.
کنترل دما که می توانید روی آن حساب کنید: دو روش برای تنظیم حرارت-ترموکوپل برای دمای اتاق تا 800 درجه و پیرومتر مادون قرمز برای 500 درجه تا 1200 درجه. ویفرها را تا 150 درجه در ثانیه گرم می‌کند (خیلی سریعتر از حامل‌های SiC یا گرافیت که روی 20-30 درجه در ثانیه درپوش دارند). و قوام؟ کمتر یا مساوی 3± درجه یکنواخت زیر 600 درجه، کمتر یا مساوی ± 0.5 درصد بالاتر از آن، به اضافه 1± درجه تکرارپذیری - بنابراین نتایج شما دسته به دسته متفاوت نخواهد بود.
بدون-عملیات سر و صدا: بارگیری/تخلیه دستی همه چیز را ساده نگه می‌دارد (اگر ترجیح می‌دهید دستی{0}}روی کنترل داشته باشید عالی است)، در حالی که زنگ هشدار و چراغ‌های هشدار به شما اطلاع می‌دهند که چیزی خاموش است. کنترل رایانه شخصی تنظیم پارامترها را آسان می‌کند،-بدون نیاز به آموزش پیچیده.
اصول اولیه (و سپس برخی) را پوشش می دهد: خلاء را تا 30 mTorr کنترل می کند، اکسیژن را زیر 3ppm نگه می دارد و تا 4 کانال MFC را پشتیبانی می کند. چه در حال بازپخت کاشت یون، رشد اکسید، یا عملیات حرارتی نمونه کوچک باشید، همه جعبه‌ها را برای پردازش حرارتی سریع اولیه بررسی می‌کند.
این برای چه کسی است
این برای-کارخانه‌های مقیاس بزرگ- نیست، بلکه برای فناوری آزمایشگاهی است که آزمایش‌های روزانه را انجام می‌دهد، سازنده کوچکی که اجزای سفارشی را تولید می‌کند، یا تیم تحقیقاتی در حال آزمایش مواد جدید است. اگر با ویفرهای کوچک کار می کنید و نیاز به نتایج ثابت و بدون دردسر وسایل صنعتی- دارید، این یکی برای شماست.
نکات سریع برای استفاده صحیح از آن
تغییر حالت های دما: از ترموکوپل برای دماهای تا 800 درجه استفاده کنید و در نرم افزار رایانه شخصی به مادون قرمز برای هر چیز داغ تر بچرخانید. سیستم به‌طور خودکار خود را کالیبره می‌کند-لمس خوب.
در حال بارگیری ویفرها: دستکش های تمیز را از دست ندهید! اثر انگشت یا گرد و غبار نتایج را خراب می کند. با ملایمت، بدون افتادن، رفتار کنید و مطمئن شوید که بر روی حامل{1}}گام‌های ساده است که بعداً سردرد را نجات می‌دهد.
اصلاحات رایج: اگر زنگ در هنگام راه اندازی خاموش شد، ابتدا بررسی کنید که آیا درب حفره محکم قفل شده است (همه ما این را فراموش کرده ایم!). اگر سرعت گرمایش به 150 درجه بر ثانیه نمی رسد، مطمئن شوید که از حاملی استفاده نمی کنید{2}}که سرعت آن را کاهش می دهد. و اگر ویفرهای شما به طور غیرمنتظره ای اکسید می شوند، خلاء (باید کمتر یا مساوی 30 mTorr باشد) و سطح اکسیژن (آن را نگه دارید) دوبار-بررسی کنید.<3 ppm).
تعمیر و نگهداری که مهم است: محفظه کوارتز را با الکل پاک کنید-در هفته سریعتر از آن چیزی که فکر می کنید جمع می شود. لامپ ها را هر 3 ماه یکبار (پس از 1000 ساعت تعویض کنید) و حلقه های آب بندی را هر ماه از نظر ترک چک کنید. اوه، و اجازه ندهید خنک کننده آب بیش از 70 درجه باشد -این یک راه سریع برای آسیب رساندن به قطعات است.
اسب کار جامد
این محصول دارای گواهی استانداردهای SEMI S2 است و برای دوام ساخته شده است. این ویژگی های اضافی زرق و برق دار ندارد که هرگز از آنها استفاده نخواهید کرد، اما موارد ضروری را در بر می گیرد: دقت، فشرده بودن و سهولت استفاده. برای آزمایشگاه‌ها و تیم‌های کوچکی که نیاز به یک راه‌حل پردازش حرارتی دارند که هر روز کار می‌کند، RTP{4}}100 بی‌معنی است. این کامل نیست (هیچ چیز نیست!)، اما قابل اعتماد است - و این چیزی است که وقتی سعی می کنید آزمایش ها یا تولید را در مسیر خود نگه دارید، اهمیت دارد.
