وقتی صحبت از{0}}پردازش میکرو{1}}نانو با دقت بالا- میشود، چه در حال ساخت نیمههادیها، آزمایش مواد جدید، یا افزایش تولید{3}}یک ICP (پلاسمای جفت شده القایی) اچر فقط یک ابزار نیست. این قطعه ای از تجهیزات است. چه چیزی آن را برجسته می کند؟ از فناوری پلاسمای جفت شده القایی برای ارائه چگالی پلاسما قابل اعتماد، کنترل دقیق فرآیند و توانایی کار با هزاران مواد مختلف استفاده می کند. بهعلاوه، میتوانید پارامترهای آن را تغییر دهید و آن را پیکربندی کنید تا متناسب با نیازهایتان باشد-بنابراین حکاکی تمیز،-آسیب{10} و نسبت ابعاد{11}}بالا{10}} که هر بار ثابت است، داشته باشید. اما با این همه گزینه، چگونه آن را محدود می کنید؟ بیایید آن را تجزیه کنیم، مثل اینکه در حال چت کردن با همکارتان هستید که آنجا بوده است.
I. حتی برای چه استفاده می شود؟
ICP Etchers یکی از-پونیهای ترفند-آنها در برخی از پیشرفتهترین-زمینههای فنی نیستند. اینجاست که آنها واقعاً می درخشند:
ساخت نیمه هادی و آی سی: اگر چیپس درست می کنید، این نان و کره شماست. این موارد مهم-مانند ترانزیستورهای الگو در قسمت جلویی، حک کردن آن TSV های کوچک (از طریق-سیلیکون ویاس) که لایه ها را به هم متصل می کنند و حتی بسته بندی های پیشرفته را کنترل می کند. اینها مراحلی هستند که باعث می شود تولید آی سی به آرامی حرکت کند و هیچ میانبر مجاز نباشد.
دستگاه های نیمه هادی مرکب: الکترونیک قدرت مبتنی بر فناوری{0}با کارایی بالا-GaN{{2} برای وسایل برقی الکتریکی، اپتوالکترونیک GaAs/InP (LED، لیزر، آشکارسازهای نور) برای دستگاههای قدرت 5G یا SiC که میتوانند شرایط شدید را تحمل کنند، در نظر بگیرید. این مواد دشوار هستند، اما ICP Etcher برای رسیدگی به نیازهای منحصر به فرد آنها تنظیم شده است.
MEMS & Microfluidics: تا به حال از سنسور فشار یا تراشه تشخیص استفاده کرده اید؟ آن ساختارهای ریز و پیچیده (ما در مورد شیارها و سوراخها با نسبت ابعاد{{0}بالا صحبت میکنیم) به این اچر متکی هستند. این برای حک کردن اشکال دقیقی ساخته شده است که حسگرهای میکرو{3}}، محرکها و تراشههای میکروسیال را کار میکنند.
تحقیقات مواد دو بعدی و نانوتکنولوژی: اگر با گرافن، MoS2 یا BN{0}}موادی که ضخامت آنها فقط اتم است-درگیر میشوید، نمیتوانید از پس استفاده خشن برآیید. این اچر الگوبرداری دقیقی را بدون آسیب رساندن به مواد انجام میدهد، که یک بازی{3}}تغییرگر-نسل بعدی الکترونیک و آزمایشهای مقیاس نانو-است.
اوه، و این فقط مواردی نیستند-که دیدهایم از آن برای پردازش الماس، حکاکی فلز (W، Ta، Mo)، حتی برای اصلاح سطح ایمپلنتهای زیست پزشکی استفاده میشود. فوق العاده همه کاره
II. چه کسی واقعاً به یکی نیاز دارد؟
این یک ابزار یک -اندازه-براساس همه- نیست. کاربران مختلف اولویتهای کاملاً متفاوتی دارند{4}}در اینجا چه کسی چه چیزی میخرد:
آزمایشگاه ها و دانشگاه های تحقیقاتی: شما در حال تولید محصولات نیستید-شما در حال آزمایش ایدهها هستید. بنابراین به چیزی انعطافپذیر، مقرون به صرفه{2}}دوستانه و آسان برای تغییر نیاز دارید. اکثر آزمایشگاهها برای پلتفرمهای ویفر 4 یا 6{7}}اینچی (هنوز نیازی به 12{9}}اینچ نیست) با باز{10}}دستگیری نمونه بارگیری (سریعتر برای آزمایشهای سریع) استفاده میشوند. پیکربندی هزینهمحور در اینجا کار میکند، قدرت رادیویی پایه، اجزای اصلی، بدون زنگ و سوت اضافی که پول کمک مالی شما را نمیخورد. فقط باید مواد را عوض کنید و تنظیمات را بدون دردسر تنظیم کنید.
کارخانه های آزمایشی و تولیدکنندگان کوچک: شما در حال انتقال از آزمایشگاه به تولید واقعی هستید، اما نیازی به راه اندازی کارخانه در مقیاس کامل- ندارید. تعادل کلیدی است-شما عملکردی را میخواهید که به بخشهای ثابت ترجمه شود، اما نمیخواهید بیش از حد خرج کنید. یک پلت فرم 8{5}}اینچی با بارگیری{7}}قفل کردن نمونه (جارو را تمیز نگه میدارد، دستهها را سرعت میبخشد) عالی است. توان رادیویی متوسط{11}}(منبع 1000-2000 وات، بایاس 300-800 وات) به نقطه شیرین بین قابلیت و هزینه می رسد. به حسگرهای MEMS دسته کوچک یا تراشه های میکروسیال سفارشی فکر کنید.
شرکت های بزرگ نیمه هادی و الکترونیک: شما در حال تولید انبوه-تراشهها یا دستگاههایی با حجم-با حجم بالا هستید، پایداری، سرعت و اتوماسیون غیرقابل مذاکره-است. شما به یک پلت فرم 12-اینچی (وفرهای بیشتر را سریعتر رسیدگی می کند) با- RF با قدرت بالا، خطوط گاز اضافی (6{10}}8، برای پوشش فرآیندهای پیچیده) و ابزارهای نظارتی پیشرفته مانند OES درجا (بنابراین قبل از خراب کردن یک دسته، مشکلات را تشخیص دهید). زمان از کار افتادن هزینه های زیادی برای شما دارد، بنابراین شما همچنین به پشتیبانی سطح بالا- کمک 24/7، قطعات یدکی سریع و ادغام یکپارچه با خط تولید فعلی خود نیاز دارید.
III. مواردی که در هنگام خرید اهمیت دارد
بیایید اصطلاحات را کوتاه کنیم-در اینجا چیزی است که باید قبل از فشار دادن ماشه بررسی کنید (بدون صحبت فنی جالب، قول دهید):
آن را با کار خود مطابقت دهید: اگر با مواد دو بعدی یا نیمه هادی های شکننده سر و کار دارید، -حالت پلاسمای بایاس کم- را بخواهید که آسیب یونی را به حداقل می رساند (برای موارد حساس حیاتی است). اگر MEMS یا TSV میسازید، تأیید کنید که میتواند نسبتهای تصویر را تا 30:1 و دیوارهای جانبی تندتر از 89 درجه - انجام دهد.
نیازهای تولید ویفر اندازه =: بیش از حد خرید نکنید. 4/6-اینچ برای تحقیق خوب است (ارزانتر، رسیدگی آسانتر). 8/12-اینچ فقط در صورتی لازم است که آن را با Load-Lock افزایش دهید، جفت کنید تا کارها را کارآمد نگه دارید.
هزینه در مقابل عملکرد{1}}بیش از حد پیچیده نیست: آزمایشگاه ها می توانند به اصول اولیه (5 خط گاز، RF استاندارد) پایبند باشند. تولیدکنندگان به ارتقاها (-RF با قدرت بالا، خطوط گاز قابل گسترش، ابزارهای نظارتی) نیاز دارند زیرا ثبات در مقیاس ارزش سرمایه گذاری را دارد. اگر آن چیزی که شما نیاز دارید را انجام دهد، در انتخاب گزینه بودجه هیچ شرمی وجود ندارد.
چیزهای خسته کننده را نادیده نگیرید: سیستم خلاء اهمیت دارد-به دنبال ترکیبی از پمپ مکانیکی + TMP باشید که کمتر یا برابر با 5×10-7 Torr باشد (بسیار پایدار است، بنابراین اچینگ شما دسته به دسته تغییر نمیکند). ردپا را بررسی کنید: 1.0 متر در 1.5 متر است، بنابراین مطمئن شوید که کف آزمایشگاه یا کارخانه شما فضا دارد. و سؤال در مورد پشتیبانی-در-نصب سایت، آموزش برای تیم شما و راهنمایی از راه دور 24/7 غیرقابل مذاکره{12}}است. زمان توقف بهره وری را از بین می برد، بنابراین شما به تامین کننده ای نیاز دارید که پشت شما باشد.
سفارشی سازی کلید است: آیا می توانند خطوط گاز اضافی اضافه کنند؟ دمای مرحله ویفر را تنظیم کنید (-70 درجه تا 200 درجه اختیاری است-آیا به سرما یا گرمای شدید نیاز دارید؟). آیا آنها Load-Lock یا Open-Load را ارائه می دهند؟ فرآیند شما منحصربهفرد است-به یک پیکربندی-تنظیم-راضی نباشید.
در پایان روز، بهترین اچر ICP زیباترین نیست-بلکه مناسب استشماگردش کار، مواد و بودجه شما. چه دانشآموزی باشید که در حال آزمایش یک نانو{1}}مواد جدید هستید یا مدیر تولیدی باشید که تولید تراشه را افزایش میدهد، تمرکز بر این اصول به شما کمک میکند از پشیمانی خریدار جلوگیری کنید. و اگر هنوز مطمئن نیستید؟ مطالعات موردی را بخواهید-ببینید که تیم های دیگر در زمینه شما چگونه از آن استفاده می کنند. این مدرک واقعی برای شما کار خواهد کرد.
