میکروسکوپ سه بعدی یک ابزار تجزیه و تحلیل مورفولوژی سطح{1} با دقت بالا با محدوده اندازه گیری در مقیاس های نانومتری تا میلی متری است که می تواند پارامترهایی مانند زبری، ارتفاع پله، و نمایه سطح را تجزیه و تحلیل کند. این ابزار از فناوری آزمایش غیرمخرب استفاده میکند و هیچ الزامات خاصی برای صلبیت سطح نمونه ندارد. دارای ویژگی های اسکن سریع و پایداری بالا است. سری Miracle Vision که در سال 2025 راه اندازی شد، سیستم های نوری و الگوریتم های هوشمند را ادغام می کند، از اندازه گیری 2 بعدی و توابع بازسازی سه بعدی پشتیبانی می کند و در زمینه هایی مانند نیمه هادی ها، تراشه های زیستی و ماشینکاری دقیق کاربرد دارد.
مشخصات فنی
محدوده بزرگنمایی نوری 108x-17280x، از عملکرد مشاهده سه بعدی چرخشی پشتیبانی می کند.
اتخاذ فناوری تراز هوشمند و عملکرد ناوبری منطقه ای برای بهبود کارایی اندازه گیری.
دقت اندازه گیری در ± 2٪ از مقدار اندازه گیری شده (از سال 2021) باقی می ماند.

